غرف التنظيف

حلول فائقة وخدمات شاملة

البيئات الصغيرة

وحدات مناولة الهواء

الأنظمة الفرعية الحرجة والبيئات الخاضعة للرقابة

إمدادات الغاز

توريد المواد الكيميائية

أنظمة مزج وتوزيع المواد الكيميائية والملاط فائقة النقاء وأنظمة توزيع المواد الكيميائية فائقة النقاء

الأمبولات وأجهزة الاستشعار

عملية العادم

Exentec Gas Abatement Technology image - formerly Airgard

الحد من الغازات

الحلول الصيدلانية الحيوية

المقاعد المبللة

نحن متخصصون في تصميم أنظمة تحضير الأسطح حيث تتوافق متطلبات التطبيق وأداء المعدات بسلاسة

تدمج أدواتنا أجهزة المعالجة، وبرامج التحكم المتقدمة، والروبوتات الآلية لتقديم حلول مخصصة بدءًا من مناضد المعالجة اليدوية أحادية العملية إلى أنظمة مناولة الرقائق المؤتمتة بالكامل، ويمكننا تخصيص حاملات الركائز والمستجيبات النهائية لاستيعاب متطلبات المعالجة الفريدة.

نحن ندعم مجموعة كبيرة من الركائز والمواد:

  • الرقائق (100 مم - 300 مم)
  • مواد أشباه الموصلات III-V
  • الأقنعة الضوئية
  • تركيبات الزجاج والكوارتز
  • المشعبات المخصصة والناقلات المتخصصة

يمكن لمهندسينا أيضًا تصميم مستجيبات نهائية مخصصة وناقلات الركائز لتلبية احتياجاتك الخاصة في المعالجة والمعالجة.

  • التنظيف، وشرائط المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
  • قابلة للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
  • أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
  • معدات معالجة قابلة للتكوين وقابلة للتطوير.

يتمتع فريقنا بخبرة في مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات بما في ذلك العمل في FEOL وBEOL والتغليف المتقدم والطلاء بنمط MEMS والترسيب المغناطيسي والحفر الكهربائي والترسيب الإلكتروني. لدينا أيضًا تخطيطات حمام عملية رطبة قياسية متاحة للعديد من التطبيقات مثل:

  • الحفر الرطب - حفر السيليكون (KOH)، وحفر النيتريد، وحفر الأكسيد المخزن، وشريط مقاوم للضوء، وحفر الذهب/البلاتين.
  • رفع المعادن - تكوينات NMP وDMSO
  • تنظيف الرقاقة - دعم حمامات HF وPiranha وSC1 وSC2


يمكن تهيئة أدوات المعالجة لدينا بمجموعة كاملة من أنظمة الدعم لتعزيز الأتمتة والسلامة وإدارة المواد الكيميائية:

  • أنظمة مناولة المواد الكيميائية
  • عربات المواد الكيميائية للتوزيع والإزالة والتخزين
  • قوارير مدمجة لجمع النفايات
  • محطات الرفع لتحييد النفايات
  • أجهزة تحسين العمليات
  • أجهزة تدوير يتم التحكم في درجة حرارتها (WHRV)
  • التدفئة: ما يصل إلى 5115 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • التبريد: حتى 2550 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • أحواض إعادة التدوير للحصول على درجة حرارة وتدفق ثابتين
  • خزانات كوارتز لمقاومة المواد الكيميائية
  • غسالات التفريغ السريع (QDR)
  • أوضاع الغمر والتتالي والرذاذ

أنظمة تحضير الأسطح لدينا قابلة للتطوير وجاهزة للاندماج في غرف التنظيف ومختبرات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة. سواءً كنت تعمل مع ركائز قياسية أو مواد فريدة من نوعها، يمكن لفريقنا تقديم منصة جاهزة للمعالجة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك.

أنظمة الملاط

تدمج أدواتنا أجهزة المعالجة، وبرامج التحكم المتقدمة، والروبوتات الآلية لتقديم حلول مخصصة بدءًا من مناضد المعالجة اليدوية أحادية العملية إلى أنظمة مناولة الرقائق المؤتمتة بالكامل، ويمكننا تخصيص حاملات الركائز والمستجيبات النهائية لاستيعاب متطلبات المعالجة الفريدة.

نحن ندعم مجموعة كبيرة من الركائز والمواد:

  • الرقائق (100 مم - 300 مم)
  • مواد أشباه الموصلات III-V
  • الأقنعة الضوئية
  • تركيبات الزجاج والكوارتز
  • المشعبات المخصصة والناقلات المتخصصة

يمكن لمهندسينا أيضًا تصميم مستجيبات نهائية مخصصة وناقلات الركائز لتلبية احتياجاتك الخاصة في المعالجة والمعالجة.

  • التنظيف، وشرائط المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
  • قابلة للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
  • أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
  • معدات معالجة قابلة للتكوين وقابلة للتطوير.

يتمتع فريقنا بخبرة في مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات بما في ذلك العمل في FEOL وBEOL والتغليف المتقدم والطلاء بنمط MEMS والترسيب المغناطيسي والحفر الكهربائي والترسيب الإلكتروني. لدينا أيضًا تخطيطات حمام عملية رطبة قياسية متاحة للعديد من التطبيقات مثل:

  • الحفر الرطب - حفر السيليكون (KOH)، وحفر النيتريد، وحفر الأكسيد المخزن، وشريط مقاوم للضوء، وحفر الذهب/البلاتين.
  • رفع المعادن - تكوينات NMP وDMSO
  • تنظيف الرقاقة - دعم حمامات HF وPiranha وSC1 وSC2


يمكن تهيئة أدوات المعالجة لدينا بمجموعة كاملة من أنظمة الدعم لتعزيز الأتمتة والسلامة وإدارة المواد الكيميائية:

  • أنظمة مناولة المواد الكيميائية
  • عربات المواد الكيميائية للتوزيع والإزالة والتخزين
  • قوارير مدمجة لجمع النفايات
  • محطات رفع لتحييد النفايات
  • أجهزة تحسين العمليات
  • أجهزة تدوير يتم التحكم في درجة حرارتها (WHRV)
  • التدفئة: ما يصل إلى 5115 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • التبريد: حتى 2550 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • أحواض إعادة التدوير للحصول على درجة حرارة وتدفق ثابتين
  • خزانات كوارتز لمقاومة المواد الكيميائية
  • غسالات التفريغ السريع (QDR)
  • أوضاع الغمر والتتالي والرذاذ

أنظمة تحضير الأسطح لدينا قابلة للتطوير وجاهزة للاندماج في غرف التنظيف ومختبرات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة. سواءً كنت تعمل مع ركائز قياسية أو مواد فريدة من نوعها، يمكن لفريقنا تقديم منصة جاهزة للمعالجة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك.