
يتراوح طيف أدوات Exentec لتحضير الأسطح والمقاعد الرطبة من مناضد تحضير الأسطح من Exentec من الغمر على دفعات إلى الرش أو مناضد الرقاقة الواحدة. يمكن تهيئة جميع المقاعد المبللة من الأنظمة اليدوية إلى الأنظمة متعددة المهام المؤتمتة بالكامل.
تم تصميم المقاعد الرطبة لدينا من أجل قابلية التكرار والحجم، مع التركيز على العمليات التي تحتوي على خزانين أو أكثر من خزانات المعالجة. صُممت محطات المعالجة الرطبة لدينا وفقًا لمعايير SEMI الحالية، وهي متوفرة في تكوينات مؤتمتة بالكامل وشبه مؤتمتة ويدوية.
- وحدات FEOL، وBEOL، ووحدات التغليف، ووحدات التغليف المتقدمة، وطلاء أنماط MEMS، والترسيب المغناطيسي، والحفر الكهربائي، والترسيب الإلكتروني
- التنظيف، وشرائح المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
- قابل للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
- أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
- رقاقات السيليكون من 100 مم إلى 450 مم، والمواد من الفئة III-V، والأقنعة الضوئية، والزجاج، والفتحات الكبيرة
- ركائز مخصصة





