Oferujemy szereg usług w zakresie analizy parametrów krytycznych i monitorowania systemów wody ultraczystej. Aby zapewnić wysoką jakość analiz, obszar analityczny Exentec jest połączony z wewnętrzną instalacją wody ultraczystej.

Nasze usługi w zakresie analizy wody ultraczystej obejmują:

• Aniony i kationy z granicami wykrywalności w zakresie ppt
• Metale śladowe w zakresie poniżej ppt
• Oznaczanie TOC do 0,1 ppb
• Pomiar cząstek o wielkości do 0,05 μm
• Określanie oporności wody, bakterii i obciążenia krzemionką
• Ocena zgodności według specyfikacji klienta

Analiza śladowa

Zanieczyszczona woda płucząca, zawierająca różne zanieczyszczenia organiczne i nieorganiczne, może mieć wpływ na proces i jakość produktu. Dzięki integracji wszystkich technologii oczyszczania wody, czystość wody jest podnoszona do bardzo wysokiego poziomu poprzez usuwanie cząstek, składników organicznych i nieorganicznych, a także rozpuszczonych gazów. Przemysł półprzewodników wymaga coraz bardziej rygorystycznych limitów tolerancji dla zanieczyszczeń w ultraczystej wodzie, zwłaszcza dla metali krytycznych i TOC. Wymaga to starannie skonstruowanego programu testów analitycznych dla krytycznych parametrów, takich jak jony, metale, cząstki, związki organiczne i bakterie, w celu zapewnienia wysokiej jakości wody ultraczystej.

Nasze usługi analizy śladowej obejmują:

• Badanie jakości wody w narzędziu procesowym lub mini-środowisku do kondycjonowania UPW
• Badanie jakości wody w całym systemie od punktu wejścia (POE) do punktu użycia (POU)
• Kontrola jakości wody w kilku punktach transferu
• Wstępna kwalifikacja materiałów polimerowych o bardzo wysokiej czystości (UHP) (rur, węży, membran itp.) do systemów dystrybucji UPW za pomocą statycznych lub dynamicznych testów wymywania.

Test wymywania

Materiały i komponenty polimerowe stosowane w systemach dystrybucji UPW są potencjalnymi źródłami zanieczyszczeń, które mogą negatywnie wpływać na jakość wody. W tym celu materiały polimerowe o ultra wysokiej czystości (UHP), które są wykorzystywane w procesie produkcyjnym, muszą spełniać precyzyjne specyfikacje normy SEMI. Dlatego też wstępna kwalifikacja tych materiałów jest niezbędna przed ich użyciem w systemach UPW.

Oferujemy następujące procedury testowania materiałów:

• Statyczny test wymywania rurek, rur, membran, zaworów, o-ringów zgodnie z SEMI F40 w pomieszczeniach czystych klasy 5.
• Warunki testowe 85 ± 5 °C, 7 dni (można zastosować inne warunki testowe)
• Analiza zanieczyszczeń jonowych, metalicznych i organicznych
• Określenie zanieczyszczenia cząstkami w teście płukania zgodnie z SEMI F104
• Ocena zgodności ze specyfikacją zanieczyszczeń SEMI F57
• Dynamiczne testy wymywania, tj. ciągły przepływ w celu klasyfikacji UPW przez część lub zespół, zgodnie z normami SEMI i specyfikacją klienta
• Testowanie jakości wody w całym systemie od punktu wejścia (POE) do punktu użycia (POU).