Obiekty zaawansowanych technologii

Innowacje, wrażliwe procesy produkcyjne, rosnące standardy jakości i szybki postęp w badaniach i rozwoju stanowią stałe i rosnące wyzwania dla środowisk produkcyjnych i rozwojowych w przemyśle półprzewodnikowym i optycznym, a także dla nanotechnologii i mikromechaniki.

Bardzo niskie tolerancje temperatury i wilgotności, absolutna czystość w odniesieniu do zanieczyszczeń gazowych i cząstek stałych, a także ekranowanie wpływów akustycznych, wibracyjnych i elektromagnetycznych na procesy klienta są kluczowymi czynnikami dla optymalnych procesów produkcyjnych. Nasze rozwiązanie: system MEC (modułowa komora środowiskowa).

• Stabilne i powtarzalne środowisko procesowe
• Osadzanie cząstek stałych i zanieczyszczeń chemicznych
• Precyzyjna kontrola temperatury
• Ekranowanie akustyczne

Dane techniczne

Parametry wydajności

• Strumień objętości powietrza: 2,95 m³/h
• Temperatura powietrza: 22 °C
• Stabilność temperatury: ± 5 mK do ± 1 mK
• Wilgotność: 33 % r.H.
• Stabilność wilgotności: ± 0,3% r.H.
• Ekranowanie akustyczne: dla 100 < f < 5000 Hz: -15 dB
• Ekranowanie magnetyczne dla 10 < f < 200 Hz: -30 dB