Precyzyjna komora kontroli środowiska

Precyzyjna komora kontroli środowiska
Komory Exentec Precise Environmental zapewniają bardzo niskie tolerancje temperatury i wilgotności, absolutną czystość w odniesieniu do zanieczyszczeń gazowych i cząstek stałych oraz ekranowanie wpływów akustycznych, wibracyjnych i elektromagnetycznych.
Obiekty zaawansowanych technologii
Innowacje, wrażliwe procesy produkcyjne, rosnące standardy jakości i szybki postęp w badaniach i rozwoju stanowią stałe i rosnące wyzwania dla środowisk produkcyjnych i rozwojowych w przemyśle półprzewodnikowym i optycznym, a także dla nanotechnologii i mikromechaniki.
Bardzo niskie tolerancje temperatury i wilgotności, absolutna czystość w odniesieniu do zanieczyszczeń gazowych i cząstek stałych, a także ekranowanie wpływów akustycznych, wibracyjnych i elektromagnetycznych na procesy klienta są kluczowymi czynnikami dla optymalnych procesów produkcyjnych. Nasze rozwiązanie: system MEC (modułowa komora środowiskowa).
- Stabilne i powtarzalne środowisko procesowe
- Osadzanie cząstek stałych i zanieczyszczeń chemicznych
- Precyzyjna kontrola temperatury
- Ekranowanie akustyczne
Dane techniczne
Parametry wydajności
- Strumień objętości powietrza: 2,95 m³/h
- Temperatura powietrza: 22 °C
- Stabilność temperatury: ± 5 mK do ± 1 mK
- Wilgotność: 33 % r.H.
- Stabilność wilgotności: ± 0,3% r.H.
- Ekranowanie akustyczne: dla 100 < f < 5000 Hz: -15 dB
- Ekranowanie magnetyczne dla 10 < f < 200 Hz: -30 dB