Szafki na wodę chłodzącą
Szafki na wodę chłodzącą
Jakość wody chłodzącej dostępnej w fabrykach półprzewodników jest istotną kwestią
Instalacje fabryczne i narzędziowe wymagają precyzyjnej kontroli wody chłodzącej
Rozwiązaniem Exyte Technology jest oddzielenie obwodów chłodzenia w fabryce i narzędziu oraz zastosowanie ultraczystej wody (UPW) w obwodzie narzędzia. Separacja ta umożliwia również lepszą kontrolę zasilania wodą chłodzącą pod względem stabilności temperatury, zanieczyszczenia cząstkami i natężenia przepływu, co zwiększa wydajność i dostępność narzędzia.
Szafki na wodę chłodzącą
Rozwiązanie Exentec polega na oddzieleniu obwodów chłodzenia fabryki i narzędzia oraz zastosowaniu ultraczystej wody (UPW) w obwodzie narzędzia.
Precyzyjna komora kontroli środowiska
Komory Exentec Precise Environmental zapewniają bardzo niskie tolerancje temperatury i wilgotności, absolutną czystość w odniesieniu do zanieczyszczeń gazowych i cząstek stałych oraz ekranowanie wpływów akustycznych, wibracyjnych i elektromagnetycznych.
Precyzyjne systemy kontroli klimatu
Exentec dostarcza system precyzyjnej kontroli klimatu dla przemysłu półprzewodników i nanotechnologii oraz produkcji optycznych nośników danych wymagających stabilnego procesu i środowiska pomiarowego.
Rozwiązanie do kontroli punktu rosy
Exentec oferuje systemy i rozwiązania z gazami wypierającymi spełniające najwyższe wymagania dotyczące czystości, stabilności temperatury i suchości.
Kondycjonowanie wody ultraczystej
Precyzyjne kondycjonowanie płynnych mediów w innowacyjnych środowiskach produkcyjnych.