We bieden verschillende diensten aan voor het analyseren van kritische parameters en het monitoren van ultrazuivere watersystemen. Om de hoge kwaliteit van de analyses te garanderen, is de Exentec analyseafdeling gekoppeld aan een in-house ultrapuur water faciliteit.

Onze diensten voor de analyse van ultrapuur water omvatten:

• Anionen en kationen met detectiegrenzen in het ppt-bereik
• Metalen tot in het sub-ppt bereik
• TOC-bepaling tot 0,1 ppb
• Deeltjesmeting tot een deeltjesgrootte van 0,05 μm
• Bepaling van waterweerstand, bacteriën en silica belasting
• Conformiteitsevaluatie volgens klantspecificaties

Sporenanalyse

Het proces en de productkwaliteit kunnen worden beïnvloed door verontreinigd spoelwater dat verschillende organische en anorganische verontreinigingen bevat. Door alle technologieën voor waterzuivering te integreren, wordt de zuiverheid van het water opgewaardeerd tot een ultrahoog niveau door deeltjes, organische en anorganische componenten en opgeloste gassen te verwijderen. De halfgeleiderindustrie vereist steeds strengere tolerantiegrenzen voor verontreinigingen in ultrazuiver water, vooral voor kritische metalen en TOC. Dit vereist een zorgvuldig gestructureerd analytisch testprogramma voor kritische parameters zoals ionen, metalen, deeltjes, organische verbindingen en bacteriën om een hoge kwaliteit van UPW te garanderen.

Onze diensten voor sporenanalyse omvatten:

• Testen van de waterkwaliteit in een procesinstrument of mini-omgeving voor UPW-conditionering
• Testen van de waterkwaliteit in het totale systeem van Point Of Entry (POE) tot Point Of Use (POU)
• Controle van de waterkwaliteit op verschillende overdrachtspunten
• Prekwalificatie van ultrazuivere (UHP) polymeermaterialen (buizen, slangen, membranen enz.) voor UPW-distributiesystemen door statische of dynamische uitloogtests

Uitloogtest

Polymere materialen en componenten die worden gebruikt in UPW-distributiesystemen zijn potentiële bronnen van verontreiniging die de waterkwaliteit negatief kunnen beïnvloeden. Daarom moeten ultrazuivere (UHP) polymeermaterialen die worden gebruikt in het productieproces voldoen aan nauwkeurige SEMI standaardspecificaties. Daarom is de prekwalificatie van deze materialen onontbeerlijk voordat ze in UPW-systemen worden gebruikt.

Wij bieden de volgende testprocedures voor materialen:

• Statische uitloogtest van buizen, pijpleidingen, membranen, kleppen, O-ringen volgens SEMI F40 in cleanrooms van klasse 5.
• Testomstandigheden 85 ± 5 °C, 7 dagen (andere testomstandigheden kunnen worden toegepast)
• Analyse van ionische, metallische en organische vervuiling
• Bepaling van deeltjesvervuiling in een spoeltest volgens SEMI F104
• Evaluatie van naleving van de vervuilingsspecificaties volgens SEMI F57
• Dynamische uitloogtests, d.w.z. continue stroom voor classificatie van UPW door een onderdeel of assemblage, volgens SEMI-normen en klantspecificatie
• Testen van de waterkwaliteit in het totale systeem van Point Of Entry (POE) tot Point Of Use (POU)