Luchtkwaliteitsbewaking

Complexe fabricageprocessen in de elektronische en halfgeleiderindustrie vereisen een zeer schone omgevingslucht. Chemische verontreinigingen in gasfase, zogenaamde Airborne Molecular Contaminants (AMC), kunnen dunne chemische films vormen op kritische oppervlakken. Strenge bewaking van de binnenluchtkwaliteit maakt het mogelijk om te voldoen aan hightech productieomgevingen.

Exentec levert expertise in het meten, identificeren en controleren van luchtvervuiling. Dit stelt onze klanten in staat om hun productieprocessen en productopbrengsten te verbeteren.

De controle van lucht in nieuwe cleanrooms en routinematige monitoring tijdens het productieproces zijn essentiële taken op alle gebieden waar schone omgevingen voor productie vereist zijn: halfgeleiderindustrie, optische en lasertechnologie en andere cleanroomgebieden.

Onze portfolio omvat:

• Luchtbemonstering binnenshuis, in make-up luchtunits, recirculatiesystemen, in mini-omgevingen en gereedschappen.
• Zorgvuldige selectie van de monsternamepunten voor analyse van de hoofdoorzaak als een hoger verontreinigingsniveau wordt gedetecteerd.
• Keuze van de juiste bemonsteringsmethode
• Evaluatie volgens de huidige internationale technologie en klantspecificaties
  

Daarom bieden wij:

• Analyse van omgevingslucht, cleanroomlucht en schone droge lucht
• Monstername van zuren en basen door middel van de impingermethode voor ionenchromatografie (IC) en massaspectrometrie (ICP-MS) analyse.
• Monstername van organische verbindingen en vuurvaste materialen door monstername met adsorptiematerialen (bijv. Tenax, CarboTrap) voor TD-GC/MS analyse.