Conçus pour répondre aux besoins d'un large éventail d'industries de haute technologie
Ces systèmes offrent une flexibilité exceptionnelle, une grande précision et des performances fiables dans un encombrement réduit. Avec des taux de remplissage flexibles, une surveillance du processus en temps réel et des configurations personnalisables, les systèmes MEGA® sont optimisés pour la fabrication de semi-conducteurs, les applications CMP à faible teneur en solides, et bien plus encore.
Contactez MEGA® afin d'étudier les possibilités de configuration des systèmes de mélange et de distribution des boues pour votre usine ou votre salle blanche.
Le système en un coup d'œil : caractéristiques mises en évidence
Le système en un coup d'œil : caractéristiques mises en évidence
- Fonctionnement flexible
- Prise en charge des procédés chimiques spécialisés de faible à fort volume
- Pressions de distribution réglables au point d'utilisation pour diverses exigences en matière d'outils
- Conception évolutive et configurable
- Plusieurs modèles de systèmes adaptés à l'agencement spécifique des fabriques et des salles blanches
- Options personnalisables pour les installations nouvelles ou modernisées
- Fiabilité éprouvée
- Conçu pour les environnements de fabrication à haut débit
- Faible coût total de possession avec des performances système robustes
Principaux avantages
Principaux avantages
- L'architecture évolutive permet de s'adapter à l'augmentation des besoins de production.
- Compatible avec de nombreux protocoles basés sur Ethernet et avec les interfaces existantes
- Fonctionne comme un système PLC autonome ou s'intègre facilement dans l'infrastructure SCADA existante
- La redondance de l'alimentation, des communications et de la logique de commande améliore le temps de fonctionnement et la sécurité opérationnelle.
- Conçu pour les fabs CMP, les systèmes de boues et la distribution de produits chimiques dans les réseaux de boucles globaux
Options
Options
- Alimentation en courant alternatif redondante
- Liaisons de communication redondantes
- Contrôleurs logiques programmables (PLC) redondants pour la protection contre les défaillances
Applications appropriées
Applications appropriées
- Systèmes de distribution de boues CMP (fabs à petite et grande échelle)
- Systèmes d'approvisionnement en produits chimiques en boucle globale
- Réseaux de communication multipoints pour les outils
- Surveillance des armoires à produits chimiques ou à gaz
- Interface de contrôle des processus pour l'intégration d'outils anciens et modernes