我们提供多项关键参数分析和超纯水系统监控服务。为确保高质量的分析，Exentec 分析区与内部超纯水设备相连。

我们的超纯水分析服务包括

• 检测限在 ppt 范围内的阴离子和阳离子
• 痕量金属，检测限低至ppt以下
• 总有机碳（TOC）测定，检测限低至 0.1 ppb
• 颗粒测量，最小粒径为 0.05 μm
• 测定水电阻率、细菌和二氧化硅含量
• 根据客户要求进行合格性评估

痕量分析

含有不同有机和无机污染物的漂洗水可能会影响生产过程和产品质量。通过整合所有水净化技术，可去除颗粒、有机和无机成分以及溶解气体，从而将水的纯度提升到超高水平。半导体行业对超纯水中的污染物，尤其是关键金属和总有机碳的容忍限要求越来越严格。这就要求对离子、金属、颗粒、有机化合物和细菌等关键参数进行结构严谨的分析测试，以确保超纯水的高质量。

我们的痕量分析服务包括

• 测试用于 UPW 调节的工艺工具或微型环境中的水质
• 测试从入口点 (POE) 到使用点 (POU) 的整个系统中的水质
• 控制多个传输点的水质
• 通过静态或动态浸出测试，对用于 UPW 分配系统的超高纯度 (UHP) 聚合物材料（管材、软管、膜等）进行资格预审

浸出试验

超高纯输水系统中使用的聚合物材料和部件是潜在的污染源，会对水质产生负面影响。为此，在生产过程中使用的超高纯度（UHP）聚合物材料必须符合精确的 SEMI 标准规范。因此，在 UPW 系统中使用这些材料之前，对其进行预鉴定是必不可少的。

我们提供以下材料测试程序：

• 根据 SEMI F40 标准，在 5 级洁净室中对管材、管道、薄膜、阀门和 O 形圈进行静态浸出测试
• 测试条件 85 ± 5 °C，7 天（也可采用其他测试条件）
• 离子、金属和有机污染物分析
• 根据 SEMI F104 在冲洗测试中确定颗粒污染情况
• 评估是否符合 SEMI F57 污染规范
• 动态浸出测试，即根据 SEMI 标准和客户规格对通过部件或组件的 UPW 进行连续流动分类
• 测试从进入点 (POE) 到使用点 (POU) 的整个系统的水质