空气质量监测

电子和半导体行业的复杂制造工艺对环境空气的洁净度要求很高。化学气相污染物，即所谓的空气分子污染物（AMC），会在关键表面形成薄薄的化学薄膜。对室内空气质量进行严格监控，可使其符合高科技生产环境的要求。

Exentec 提供测量、识别和控制空气污染的专业技术。这使我们的客户能够改进生产工艺，提高产品产量。

在所有需要洁净生产环境的领域：半导体工业、光学和激光技术以及其他洁净室领域，新洁净室的空气控制和生产过程中的常规监测都是必不可少的任务。

我们的产品组合包括

• 室内、补给空气装置、再循环系统、微型环境和工具中的空气采样
• 仔细选择采样点，以便在检测到污染程度较高时进行根本原因分析
• 选择适当的采样方法
• 根据当前国际技术和客户要求进行评估
  

因此，我们提供

• 环境空气、洁净室空气和洁净干燥空气分析
• 通过离子色谱法（IC）和质谱法（ICP-MS）收集酸碱样品
• 通过吸附材料（如 Tenax、CarboTrap）采样收集有机化合物和耐火材料样品，用于 TD-GC/MS 分析