空气质量监测

空气质量监测
污染检测、空气控制和监测
空气质量监测
电子和半导体行业的复杂制造工艺对环境空气的洁净度要求很高。化学气相污染物,即所谓的空气分子污染物(AMC),会在关键表面形成薄薄的化学薄膜。对室内空气质量进行严格监控,可使其符合高科技生产环境的要求。
Exentec 提供测量、识别和控制空气污染的专业技术。这使我们的客户能够改进生产工艺,提高产品产量。
在所有需要洁净生产环境的领域:半导体工业、光学和激光技术以及其他洁净室领域,新洁净室的空气控制和生产过程中的常规监测都是必不可少的任务。
我们的产品组合包括
- 室内、补给空气装置、再循环系统、微型环境和工具中的空气采样
- 仔细选择采样点,以便在检测到污染程度较高时进行根本原因分析
- 选择适当的采样方法
- 根据当前国际技术和客户要求进行评估
因此,我们提供
- 环境空气、洁净室空气和洁净干燥空气分析
- 通过离子色谱法(IC)和质谱法(ICP-MS)收集酸碱样品
- 通过吸附材料(如 Tenax、CarboTrap)采样收集有机化合物和耐火材料样品,用于 TD-GC/MS 分析