Offriamo diversi servizi di analisi dei parametri critici e di monitoraggio dei sistemi di acqua ultrapura. Per garantire l'alta qualità delle analisi, l'area di analisi Exentec è collegata a un impianto interno per l'acqua ultrapura.

I nostri servizi di analisi dell'acqua ultrapura comprendono:

• Anioni e cationi con limiti di rilevazione nell'intervallo ppt
• Metalli in tracce fino a valori inferiori al ppt
• Determinazione del TOC fino a 0,1 ppb
• Misurazione delle particelle fino a una dimensione di 0,05 μm
• Determinazione della resistività dell'acqua, dei batteri e del carico di silice
• Valutazione della conformità alle specifiche del cliente

Analisi delle tracce

Il processo e la qualità del prodotto possono essere influenzati da acque di risciacquo contaminate che contengono diversi contaminanti organici e inorganici. Grazie all'integrazione di tutte le tecnologie per la purificazione dell'acqua, la purezza dell'acqua viene migliorata a un livello ultraelevato, rimuovendo le particelle, i componenti organici e inorganici e i gas disciolti. L'industria dei semiconduttori richiede limiti di tolleranza sempre più severi per i contaminanti presenti nell'acqua ultrapura, in particolare per i metalli critici e il TOC. Ciò richiede un programma di analisi attentamente strutturato per parametri critici come ioni, metalli, particelle, composti organici e batteri, al fine di garantire un'elevata qualità dell'acqua ultrapura.

I nostri servizi di analisi delle tracce includono:

• Test della qualità dell'acqua in uno strumento di processo o in un mini-ambiente per il condizionamento delle acque reflue.
• Analisi della qualità dell'acqua nell'intero sistema dal Point Of Entry (POE) al Point Of Use (POU)
• Controllo della qualità dell'acqua in diversi punti di trasferimento
• Pre-qualificazione di materiali polimerici ad altissima purezza (UHP) (tubi, flessibili, membrane, ecc.) per i sistemi di distribuzione UPW mediante test di lisciviazione statici o dinamici.

Test di lisciviazione

I materiali e i componenti polimerici utilizzati nei sistemi di distribuzione UPW sono potenziali fonti di contaminazione che possono influire negativamente sulla qualità dell'acqua. A tal fine, i materiali polimerici di purezza ultraelevata (UHP) utilizzati nel processo di produzione devono soddisfare le precise specifiche dello standard SEMI. Pertanto, la prequalificazione di questi materiali è indispensabile prima del loro utilizzo nei sistemi UPW.

Le seguenti procedure di analisi dei materiali sono fornite da noi:

• Test di lisciviazione statica di tubi, tubazioni, membrane, valvole, O-ring secondo SEMI F40 in camere bianche di classe 5.
• Condizioni di prova 85 ± 5 °C, 7 giorni (possono essere applicate altre condizioni di prova).
• Analisi della contaminazione ionica, metallica e organica
• Determinazione della contaminazione particellare in un test di risciacquo secondo SEMI F104
• Valutazione della conformità alle specifiche di contaminazione SEMI F57
• Test di lisciviazione dinamica, cioè flusso continuo per la classificazione di UPW attraverso un pezzo o un assemblaggio, secondo gli standard SEMI e le specifiche del cliente
• Test della qualità dell'acqua nell'intero sistema, dal Point Of Entry (POE) al Point Of Use (POU)