Misurazione dell'acqua ultrapura

Misurazione dell'acqua ultrapura
Misure di acqua ultrapura (UPW)
Offriamo diversi servizi di analisi dei parametri critici e di monitoraggio dei sistemi di acqua ultrapura. Per garantire l'alta qualità delle analisi, l'area di analisi Exentec è collegata a un impianto interno per l'acqua ultrapura.
I nostri servizi di analisi dell'acqua ultrapura comprendono:
- Anioni e cationi con limiti di rilevazione nell'intervallo ppt
- Metalli in tracce fino a valori inferiori al ppt
- Determinazione del TOC fino a 0,1 ppb
- Misurazione delle particelle fino a una dimensione di 0,05 μm
- Determinazione della resistività dell'acqua, dei batteri e del carico di silice
- Valutazione della conformità alle specifiche del cliente
Analisi delle tracce
Il processo e la qualità del prodotto possono essere influenzati da acque di risciacquo contaminate che contengono diversi contaminanti organici e inorganici. Grazie all'integrazione di tutte le tecnologie per la purificazione dell'acqua, la purezza dell'acqua viene migliorata a un livello ultraelevato, rimuovendo le particelle, i componenti organici e inorganici e i gas disciolti. L'industria dei semiconduttori richiede limiti di tolleranza sempre più severi per i contaminanti presenti nell'acqua ultrapura, in particolare per i metalli critici e il TOC. Ciò richiede un programma di analisi attentamente strutturato per parametri critici come ioni, metalli, particelle, composti organici e batteri, al fine di garantire un'elevata qualità dell'acqua ultrapura.
I nostri servizi di analisi delle tracce includono:
- Test della qualità dell'acqua in uno strumento di processo o in un mini-ambiente per il condizionamento delle acque reflue.
- Analisi della qualità dell'acqua nell'intero sistema dal Point Of Entry (POE) al Point Of Use (POU)
- Controllo della qualità dell'acqua in diversi punti di trasferimento
- Pre-qualificazione di materiali polimerici ad altissima purezza (UHP) (tubi, flessibili, membrane, ecc.) per i sistemi di distribuzione UPW mediante test di lisciviazione statici o dinamici.
Test di lisciviazione
I materiali e i componenti polimerici utilizzati nei sistemi di distribuzione UPW sono potenziali fonti di contaminazione che possono influire negativamente sulla qualità dell'acqua. A tal fine, i materiali polimerici di purezza ultraelevata (UHP) utilizzati nel processo di produzione devono soddisfare le precise specifiche dello standard SEMI. Pertanto, la prequalificazione di questi materiali è indispensabile prima del loro utilizzo nei sistemi UPW.
Le seguenti procedure di analisi dei materiali sono fornite da noi:
- Test di lisciviazione statica di tubi, tubazioni, membrane, valvole, O-ring secondo SEMI F40 in camere bianche di classe 5.
- Condizioni di prova 85 ± 5 °C, 7 giorni (possono essere applicate altre condizioni di prova).
- Analisi della contaminazione ionica, metallica e organica
- Determinazione della contaminazione particellare in un test di risciacquo secondo SEMI F104
- Valutazione della conformità alle specifiche di contaminazione SEMI F57
- Test di lisciviazione dinamica, cioè flusso continuo per la classificazione di UPW attraverso un pezzo o un assemblaggio, secondo gli standard SEMI e le specifiche del cliente
- Test della qualità dell'acqua nell'intero sistema, dal Point Of Entry (POE) al Point Of Use (POU)
Panoramica del servizio di analisi
Misurazione dell'acqua ultrapura
Offriamo diversi servizi di analisi dei parametri critici e di monitoraggio dei sistemi di acqua ultrapura.
Monitoraggio della qualità dell'aria
Rilevamento della contaminazione, controllo e monitoraggio dell'aria.