La riduzione di tutti i tipi di contaminazione dell'aria è un obiettivo principale nella produzione di prodotti sensibili alla contaminazione come wafer, ottiche, laser e processi come la litografia a ultravioletti estremi (EUV).

Il degassamento dei materiali e dei dispositivi per le apparecchiature della camera bianca (ad esempio, materiali da costruzione, rivestimenti per pavimenti, composti sigillanti, installazioni, materiali di consumo) è la fonte di contaminazione più significativa per i composti organici volatili (COV). L'analisi del comportamento di degassamento dei materiali utilizzati negli ambienti puliti è un primo passo importante per ridurre al minimo il potenziale di emissione di AMC e migliorare la qualità dell'aria interna.

Test di degassamento dei materiali

La concentrazione di contaminanti molecolari presenti nell'aria è un fattore di pulizia rilevante e ha un impatto significativo sui processi produttivi e sulla qualità dei prodotti. In particolare, i principali emettitori di COV e ammoniaca sono di notevole interesse.

La nostra procedura di misurazione e valutazione AMC comprende:

• Test di degassamento per i composti organici (VOC + SVOC) secondo le linee guida Exentec e lo standard VDI 2083-17.
• Valutazione corrispondente ai criteri di accettazione Exentec per camere bianche e mini-ambienti
• Determinazione della classe ISO - AMCm standardizzata specifica del materiale e possibilità di calcolare la classe ISO-AMC-CR per le camere bianche attuali
• Analisi mediante desorbimento termico (TD) - GC / MS
• Certificato Exentec per il materiale testato
  

Controllo di prodotto e di processo per dispositivi ottici e laser

Oltre all'importanza nell'industria dei semiconduttori, gli ambienti puliti sono essenziali anche nella produzione di prodotti optoelettronici (LED) e sistemi laser, nonché in applicazioni come la metrologia laser. Il degassamento di composti organici, in particolare di quelli condensabili, è stato identificato come la principale fonte di deterioramento delle ottiche. La contaminazione organica può portare alla formazione di foschia sulla superficie delle ottiche, alla degradazione del rivestimento, alla riduzione della trasmissione del segnale o del segnale laser stesso e può aumentare la probabilità di danni al laser.

Le fonti di degassamento organico possono essere le guarnizioni, le schede dei circuiti, l'isolamento dei cavi, i detergenti, i rivestimenti, le resine e altri. I composti critici sono i silossani, le ammine aromatiche e gli idrocarburi aromatici altobollenti come gli ftalati.

Il controllo dei prodotti e dei processi comprende:

• Analisi dei componenti e dei materiali per il controllo della produzione
• Analisi di screening dei composti organici mediante desorbimento termico
• Valutazione dei composti organici a basso, medio e alto punto di ebollizione
• Emissione di certificati Exentec