Équipement de soutien aux procédés humides

Nos outils intègrent le matériel de traitement, les logiciels de contrôle avancés et la robotique automatisée pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation des plaquettes entièrement automatisés.

Nous pouvons personnaliser les supports de substrats et les effecteurs pour répondre à des exigences de traitement uniques. Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :

• Plaquettes (100 mm - 300 mm)
• Matériaux semi-conducteurs III-V
• Photomasques
• Fixations en verre et en quartz
• Collecteurs sur mesure et supports spéciaux

Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.

• Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
• Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
• Bains à une ou plusieurs cassettes

Équipement de traitement configurable et évolutif

Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :

• Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
• Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
• Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2

Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :

• Systèmes de manipulation des produits chimiques
• Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
• Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
• Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
• Matériel d'optimisation des processus
• Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
• Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
• Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
• Bains à recirculation pour une température et un débit constants
• Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
• Rinceuses à vidange rapide (QDR)
• Modes immersion, cascade et pulvérisation

Les systèmes de préparation de surface d'Exentec sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de R&D et les fabs à haut volume. Que vous travailliez avec des substrats standards ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.