Banc humide automatisé Aeris

Des performances inégalées pour des besoins de R&D en constante évolution

Que vous développiez des nœuds de nouvelle génération ou que vous mettiez au point des recettes de gravure et de nettoyage, le banc humide automatisé Aeris® est conçu pour suivre le rythme de l'innovation. Du nettoyage des substrats à la gravure acide/base, ce banc humide est à la hauteur. Applications :

• Développement de processus
• Évaluation des matériaux
• Préparation de surface
• Nettoyage après mordançage

Les configurations disponibles sont entièrement fermées, semi-automatiques et personnalisables pour s'adapter à l'agencement et au flux de travail de votre laboratoire.

L'interface de commande du système, basée sur un PC, permet de surveiller en permanence la progression des plaquettes dans les différents bains de traitement, ce qui optimise le débit global des plaquettes en surveillant les temps de traitement de chaque processus et en transportant automatiquement les plaquettes dans les bains successifs. Chaque lot de plaquettes est identifié par un code d'identification de lot et les recettes du processus sont automatiquement téléchargées sur l'unité centrale par le biais du système de contrôle intégré basé sur Windows PC. La base de données et le système de surveillance peuvent être connectés à des systèmes d'entreprise via une interface SECS II pour la surveillance en temps réel et l'enregistrement des données.

Bancs humides automatisés Aeris® : Pour deux bains ou plus

L'automatisation des bancs humides Aeris est conçue pour les procédés comportant deux cuves ou plus. Le système de transfert peut être configuré soit comme une configuration linéaire d'avant en arrière ou de gauche à droite, soit comme un système à trois axes, ce qui permet des transferts plus complexes entre les bains dans un encombrement réduit. Les systèmes de transfert sont conçus pour accueillir des cassettes de gaufrettes simples ou doubles jusqu'à 200 mm ou une seule cassette de gaufrettes de 300 mm. Le système de contrôle comprend un automate et une interface couleur à écran tactile (HMI). L'automate dispose d'une protection par mot de passe à plusieurs niveaux et peut stocker plusieurs recettes de processus, tandis que l'IHM dispose de plusieurs écrans pour la maintenance, la configuration des recettes, la configuration des réservoirs, le fonctionnement et l'état des alarmes.

Le système en un coup d'œil : caractéristiques principales

• Configurations flexibles pour prendre en charge n'importe quelle application de produits chimiques humides
• Prise en charge du traitement d'une seule plaquette et du traitement par lots
• Plaques de 100 mm à 300 mm et substrats personnalisés
• Configurations de robots linéaires ou multi-axes
• Configurations de chargement/déchargement multiples
• Options d'environnement ouvert ou entièrement fermé
• Recirculation / filtration des bains
• Applications chauffées, réfrigérées ou ambiantes
• Réservoirs mégasoniques et/ou ultrasoniques
• Options de surveillance chimique et de métrologie
• Concentration, conductivité, pH, température, nombre de particules, etc.
• Distribution en vrac ou à bord
• Ajout de bain - peroxyde d'hydrogène, eau distillée et autres additifs
• Séchage par gradient de tension superficielle
• Contrôles miSCADA - Intégration de PLC, Modbus, serveurs OPC/OPC UA, MQTT et SECS/GEM

Options

• Matériaux de construction homologués FM 4910.
• Système de détection et d'extinction d'incendie au CO2 homologué FM
• Marquage SEMI et CE ou autres tests et certifications de tiers NRTL
• Filtration de l'air HEPA/ULPA
• Dispositif d'éclairage
• PC sous Windows avec options de mise en réseau
• Logiciel SECS/GEM ou de gestion des actifs disponible