Caractéristiques du MEGA SA100
Caractéristiques du MEGA SA100
- Contrôle quantitatif de la concentration en ligne
- Jusqu'à 6 flux (même chimie) pour l'analyse en plusieurs points de plusieurs systèmes
- Recettes programmables pour l'échantillonnage, la purge et le réapprovisionnement en constituants Essais spécifiques et capteurs électrochimiques pour des mesures précises et ciblées
- Rinçage/purge automatique intégré avec Di ou Peroxyde avec commande manuelle
- Échantillonnage sous pression à partir de sources d'outils
- Compartiments chimiques et électriques séparés
- Arrêt d'urgence de la machine (E.M.O.), alarmes sonores/visuelles et détection des fuites
- Conformité SEMI S2 et vérification de l'échappement du système
MEGA SA100 Avantages
MEGA SA100 Avantages
- Augmenter le rendement du produit en maintenant avec précision la composition chimique du processus
- Surveiller la dégradation chimique tout au long du cycle de vie du produit
- Détection et correction rapides des variations du processus
- Minimiser le risque de perte de lots grâce à une connaissance chimique en temps réel
- La disponibilité du système à 99,9 % garantit un temps de fonctionnement fiable
- Contrôle direct à partir du système de mélange (aucun automate externe n'est nécessaire)
MEGA SA100 Applications
MEGA SA100 Applications
- Fabrication de semi-conducteurs
- Surveillance de la boue après la fabrication
- Fabrication de produits solaires et photovoltaïques
- Procédés CMP à faible teneur en solides
- Production de LED et de carbure de silicium (SiC)
- Aérospatiale et ECD (dépôt électrochimique)
- Fabrication d'appareils IoT Série SA100 - Titrage de boues de haute précision et analyse chimique
Caractéristiques de la série MEGA® SA200
Caractéristiques de la série MEGA® SA200
- Détection de la taille des particules de 0,2μm à 20μm (en fonction de la configuration).
- Regroupement réglable des tailles de particules pour des données granulaires.
- Prise en charge d'une dilution jusqu'à 1 000 000:1 (double étage)
- Options de capteurs multiples et configurations en série pour la vérification.
- Surveillance à long terme des performances des lots et des filtres
- Accepte des échantillons instantanés ou en continu
- Commandes manuelles de dilution et de rinçage avec options DI ou chimique
- Construction en plastique PFA résistant aux produits chimiques et débitmètres en acier inoxydable 316
- Boîtiers FM 4910 ou conformes à la norme WPP en option