Systèmes de distribution MEGA

Le MEGA® SD1000 est spécialement conçu pour la distribution de boues colloïdales et fumées sur des lignes de polissage de faible et moyen volume. Chaque canal de distribution est équipé d'un réservoir de distribution dédié :

• Réservoir de distribution
• Pompe à suspension
• Unité de filtration
• Composants du circuit de boucle globale

Installé au niveau de l'usine, le SD1000 est optimisé pour fournir de la boue aux polisseurs dans un rayon de 100 pieds, en maintenant la pression au point d'utilisation (POU) entre 20 et 30 psi pour un flux de boue stable et efficace.

• Rinçage, purge et vidange automatisés des circuits de boues brutes et mélangées
• Recirculation continue de la cuve pour maintenir l'uniformité du lisier
• Réservoirs à fond conique de 56 litres (15 gallons) en polypropylène naturel (PP) Tés d'air et de lisier avec détection capacitive des gaz pour éliminer l'air piégé dans les boucles globales
• Humidificateur à bulles intégré avec distribution d'azote (N₂) pour la couverture du réservoir
• Contrôle du H₂O₂ dans le circuit de distribution
• Pressostat/indicateur de pression différentielle d'échappement
• Ports d'échantillonnage manuel pour chaque circuit de boue

• Capteurs de métrologie en ligne avancés pour le pH, la conductivité, la densité, la détection de grosses particules et la concentration en H₂O₂.
• Composants redondants de la station pour une fiabilité et un temps de fonctionnement accrus

• Des performances fiables : Conçue pour la distribution de boues CMP de faible à moyen volume, elle garantit un fonctionnement fiable et un support d'outil.
• Configuration évolutive : La conception modulaire permet de personnaliser le système pour prendre en charge un nombre spécifique de boucles de suspension globales, ce qui est idéal pour les environnements de fabrication croissants ou changeants.
• Conception rentable : l'appareil est peu coûteux sans sacrifier la qualité ou les performances, ce qui en fait un choix économique pour les fabs et les salles blanches.

• Fabrication de semi-conducteurs
• Traitement post-CMP
• Solaire / Photovoltaïque (PV)
• Applications CMP à faible teneur en solides
• Production de LED
• Carbure de silicium (SiC) / Fabrication de dispositifs IoT

Le MEGA® SD1000 est spécialement conçu pour la distribution de boues colloïdales et fumées sur des lignes de polissage de faible et moyen volume. Chaque canal de distribution est équipé d'un réservoir de distribution dédié :

• Réservoir de distribution
• Pompe à suspension
• Unité de filtration
• Composants du circuit de boucle globale

Installé au niveau de l'usine, le SD1000 est optimisé pour fournir de la boue aux polisseurs dans un rayon de 100 pieds, en maintenant la pression au point d'utilisation (POU) entre 20 et 30 psi pour un flux de boue stable et efficace.

• Rinçage, purge et vidange automatisés des circuits de boues brutes et mélangées
• Recirculation continue de la cuve pour maintenir l'uniformité du lisier
• Réservoirs à fond conique de 56 litres (15 gallons) en polypropylène naturel (PP) Tés d'air et de lisier avec détection capacitive des gaz pour éliminer l'air piégé dans les boucles globales
• Humidificateur à bulles intégré avec distribution d'azote (N₂) pour la couverture du réservoir
• Contrôle du H₂O₂ dans le circuit de distribution
• Pressostat/indicateur de pression différentielle d'échappement
• Ports d'échantillonnage manuel pour chaque circuit de boue

• Capteurs de métrologie en ligne avancés pour le pH, la conductivité, la densité, la détection de grosses particules et la concentration en H₂O₂.
• Composants redondants de la station pour une fiabilité et un temps de fonctionnement accrus