Conçus pour les applications anciennes et de nouvelle génération
Conçus pour répondre aux exigences de la fabrication de semi-conducteurs, des applications CMP et d'autres procédés chimiques de haute pureté, ces systèmes prennent en charge une large gamme de ratios de mélange et de taux de remplissage, ce qui en fait la solution idéale pour les applications existantes et celles de la prochaine génération.
Conçus pour une fiabilité et une répétabilité totales, les systèmes de mélange MEGA® offrent un contrôle automatisé, une surveillance intelligente et des capacités de cuves personnalisables pour répondre aux exigences spécifiques de chaque procédé.
Une ingénierie riche en fonctionnalités
Une ingénierie riche en fonctionnalités
- Support de mélange précis pour une large gamme de ratios et de produits chimiques
- Capacités totales de mélange de 30 à 500 litres, selon la configuration du système
- Rinçage, purge et vidange automatisés des circuits de matières premières et de mélange pour une propreté maximale
- L'humidificateur à bulles fournit une couverture d'azote (N₂) sur le réservoir de mélange pour protéger la pureté.
- Ports d'échantillonnage manuels pour la vérification de la qualité du mélange
Maximiser les avantages en termes de performances
Maximiser les avantages en termes de performances
- Surveillance des gaz d'échappement pour la sécurité et le contrôle des processus
- Vanne d'atténuation manuelle pour contrôler la contre-pression dans la ligne de retour de la boucle de transfert
- Possibilités d'isolation manuelle, de dérivation, de vidange et de dégazage pour un meilleur contrôle du filtre
- Capteurs capacitifs de fûts vides pour une alimentation ininterrompue en matières premières
- Transducteur de pression pour la surveillance en temps réel de la pression d'alimentation en matières premières
Applications multi-établissements
Applications multi-établissements
- Fabrication de plaquettes de semi-conducteurs
- Planarisation chimico-mécanique (CMP)
- Fabrication de produits photovoltaïques et microélectroniques
- Revêtements de précision et R&D sur les matériaux avancés
Une ingénierie riche en fonctionnalités
Une ingénierie riche en fonctionnalités
- Support de mélange précis pour une large gamme de ratios et de produits chimiques
- Capacités totales de mélange de 30 à 500 litres, selon la configuration du système
- Rinçage, purge et vidange automatisés des circuits de matières premières et de mélange pour une propreté maximale
- L'humidificateur à bulles fournit une couverture d'azote (N₂) sur le réservoir de mélange pour protéger la pureté.
- Ports d'échantillonnage manuels pour la vérification de la qualité du mélange