L'élimination de la contamination moléculaire aéroportée (AMC) est un défi particulier dans les environnements de production très propres (c'est-à-dire la fabrication de semi-conducteurs). Les acides, les bases, les condensables et les dopants présents dans l'air du procédé peuvent entraîner des réactions chimiques indésirables sur la surface de la plaquette et sur l'équipement du procédé. Les filtres AMC d'Exentec sont conçus dans notre centre technologique interne. Ils sont tous qualifiés et optimisés dans tous les aspects pertinents tels que la capacité du filtre (durée de vie maximale), l'efficacité d'élimination la plus élevée (protection maximale du processus), la perte de charge la plus faible (économie d'énergie), le dégazage le plus faible et le développement de particules.
Enveloppe de salle blanche modulaire d'Exentec
Conçues pour la précision et construites pour la performance, les solutions d'enveloppe de salle blanche d'Exentec offrent un environnement entièrement intégré et contrôlé de la contamination à partir de la base. Découvrez comment nos systèmes modulaires créent une infrastructure de salle blanche transparente, conforme et prête pour l'avenir.
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CCF
CCF
CCF avec cadre en polystyrène contenant un média au charbon imprégné pour l'élimination des bases ainsi que des condensables / COV. Ce filtre est un filtre en forme de V avec un matériau en charbon actif plissé et imprégné. Il se caractérise par une faible perte de charge et une forte adsorption et est utilisé pour l'élimination des contaminants alcalins. Le filtre est entièrement incinérable.
INX
INX
INX avec cadre métallique contenant différents médias échangeurs d'ions granulaires ou fibreux avec un média échangeur d'anions pour l'élimination des acides. Cela permet d'obtenir une très grande efficacité d'élimination ainsi qu'une capacité élevée inégalée et, par conséquent, une longue durée de vie effective du filtre. Le filtre se caractérise également par une très faible perte de charge, ce qui contribue à réduire les coûts énergétiques.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB avec cadre en polystyrène contenant divers médias échangeurs d'ions granulaires ou fibreux. Le IXV-AB est un filtre AMC pour une élimination acide et alcaline très efficace. Il est équipé de matériaux échangeurs d'anions et de cations fibreux exclusifs à Exentec. Le filtre présente des efficacités d'élimination très élevées pour les substances ciblées.
CCF
CCF
CCF avec cadre en polystyrène contenant un média au charbon imprégné pour l'élimination des bases ainsi que des condensables / COV. Ce filtre est un filtre en forme de V avec un matériau en charbon actif plissé et imprégné. Il se caractérise par une faible perte de charge et une forte adsorption et est utilisé pour l'élimination des contaminants alcalins. Le filtre est entièrement incinérable.
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Antonio Barbarossa
Chef de produit
Téléphone : +49 174 9407118