Les filtres AMC d'Exentec sont conçus dans notre centre technologique interne. Ils sont tous qualifiés et optimisés dans tous les aspects pertinents tels que la capacité de filtration (durée de vie maximale), l'efficacité d'élimination la plus élevée (protection maximale du processus), la perte de charge la plus faible (économie d'énergie), le dégazage le plus faible et le développement de particules.
Pourquoi les filtres AMC sont-ils importants dans les salles blanches ?
L'élimination de la contamination moléculaire aéroportée (AMC) est un défi particulier dans les environnements de production très propres (c'est-à-dire la fabrication de semi-conducteurs). Les acides, les bases, les condensables et les dopants présents dans l'air de traitement peuvent entraîner des réactions chimiques indésirables sur la surface des plaquettes et sur l'équipement de traitement. Les filtres chimiques sont utilisés dans une grande variété d'applications pour le contrôle de la contamination de l'air ambiant et de l'air circulant. L'équipe AMC d'Exentec offre un service complet de test et d'essai des matériaux de filtres chimiques pour répondre aux exigences de qualité les plus élevées. Le développement des matériaux filtrants est axé sur l'élimination de toutes les substances acides, basiques et organiques.
Classification des contaminants moléculaires en suspension dans l'air
Les composés AMC sont généralement classés en acides, bases, condensables (composés organiques avec un poids molaire de 120 g/mol et un point d'ébullition de >150°C) et dopants (produits chimiques qui peuvent modifier les propriétés électriques des plaquettes de semi-conducteurs). Il existe également d'autres substances connues pour provoquer des effets délirants (c'est-à-dire d'autres espèces corrosives telles que H2O2, H2S ou l'ozone).
Avec les géométries de plus en plus réduites des puces semi-conductrices, même les COV (composés organiques volatils) à faible point d'ébullition peuvent être problématiques. Exentec peut vous consulter et vous fournir une solution technique et économique pour vos besoins de traitement.
CCF
CCF
CCF avec cadre en polystyrène contenant un média au charbon imprégné pour l'élimination des bases ainsi que des condensables / COV. Ce filtre est un filtre en forme de V avec un matériau en charbon actif plissé et imprégné. Il se caractérise par une faible perte de charge et une forte adsorption et est utilisé pour l'élimination des contaminants alcalins. Le filtre est entièrement incinérable.
INX
INX
INX avec cadre métallique contenant différents médias échangeurs d'ions granulaires ou fibreux avec un média échangeur d'anions pour l'élimination des acides. Cela permet d'obtenir une très grande efficacité d'élimination ainsi qu'une capacité élevée inégalée et, par conséquent, une longue durée de vie effective du filtre. Le filtre se caractérise également par une très faible perte de charge, ce qui contribue à réduire les coûts énergétiques.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB avec cadre en polystyrène contenant divers médias échangeurs d'ions granulaires ou fibreux. Le IXV-AB est un filtre AMC pour une élimination acide et alcaline très efficace. Il est équipé de matériaux échangeurs d'anions et de cations fibreux exclusifs à Exentec. Le filtre présente des efficacités d'élimination très élevées pour les substances ciblées.
CCF
CCF
CCF avec cadre en polystyrène contenant un média au charbon imprégné pour l'élimination des bases ainsi que des condensables / COV. Ce filtre est un filtre en forme de V avec un matériau en charbon actif plissé et imprégné. Il se caractérise par une faible perte de charge et une forte adsorption et est utilisé pour l'élimination des contaminants alcalins. Le filtre est entièrement incinérable.
