Filtres AMC
Filtres AMC
Exentec est l'un des pionniers dans le développement des filtres AMC.
L'élimination de la contamination moléculaire aéroportée (AMC), telle que les acides, les bases, les condensables et les dopants de l'air de traitement, constitue un défi particulier dans les environnements de production très propres (c'est-à-dire la fabrication de semi-conducteurs). Ces contaminants peuvent entraîner des réactions chimiques indésirables à la surface des plaquettes et sur les équipements de traitement. Exentec, qui est l'un des pionniers du développement des filtres AMC, propose une large gamme de produits de filtration pour divers domaines d'application, tels que les filtres d'air d'appoint ou de reprise pour les plafonds des salles blanches ou pour la protection des outils et des processus.
Les produits sont conçus dans notre centre technologique interne et sont qualifiés et optimisés dans tous les aspects pertinents tels que la capacité de filtration (= durée de vie maximale), l'efficacité d'élimination la plus élevée (= protection maximale du processus), la perte de charge la plus faible (= économie d'énergie), le dégagement gazeux le plus faible et le développement de particules le plus faible.
INX/PCF-ABCD
INX/PCF-ABCD avec cadre métallique contenant une combinaison de médias pour l'élimination de toutes les contaminations moléculaires aéroportées (AMC) possibles. Cette combinaison de média échangeur d'ions et de charbon actif imprégné combine le meilleur de toutes les technologies de filtrage pour éliminer la gamme complète des AMC dans un seul boîtier de filtre. Ce filtre combiné permet d'obtenir une efficacité d'élimination élevée et une longue durée de vie utile du filtre.
R-PCF-CD
R-PCF-CD sont des filtres compacts pour le traitement des composés organiques volatils (COV). Ce modèle de la série PCF est équipé d'une quantité massive de charbon actif de haute qualité, ce qui se traduit par une durée de vie du filtre la plus longue possible et une efficacité d'élimination élevée, même à de faibles concentrations à l'entrée. Il offre donc une protection optimale pour les processus critiques de l'industrie des semi-conducteurs et des écrans plats. Grâce à une conception intelligente, la perte de charge est maintenue à un niveau extrêmement bas, ce qui permet de réduire les coûts d'électricité.
INX-A
INX-A avec cadre métallique contenant différents médias échangeurs d'ions granulaires ou fibreux avec un média échangeur d'anions pour l'élimination des acides. Cela permet d'obtenir une très grande efficacité d'élimination ainsi qu'une capacité élevée inégalée et, par conséquent, une longue durée de vie effective du filtre. Le filtre se caractérise également par une très faible perte de charge, ce qui contribue à réduire les coûts énergétiques.
INX-B
INX-B avec cadre métallique contenant différents médias échangeurs d'ions granulaires ou fibreux avec un média échangeur de cations pour l'élimination des bases. Cela permet d'obtenir une très grande efficacité d'élimination ainsi qu'une capacité élevée inégalée et, par conséquent, une longue durée de vie effective du filtre. Le filtre se caractérise également par une très faible perte de charge, ce qui contribue à réduire les coûts énergétiques.
CCF-CD
CCF-CD avec cadre en polystyrène contenant un média de charbon actif avec du charbon hautement activé pour l'élimination des condensables resp. des COV.
CCF-ACD
CCF-ACD avec cadre en polystyrène contenant un média en charbon imprégné pour l'élimination des acides ainsi que des condensables / COV. Ce filtre est un filtre en forme de V avec un matériau en charbon actif plissé et imprégné. Il se caractérise par une faible perte de charge et une forte adsorption et est utilisé pour l'élimination des contaminants acides. Le filtre est entièrement incinérable.
CCF-ACD
