專為支援廣泛的高科技產業而設計

包括 CMP、碳化矽、LED、太陽能和光學，這些系統在小巧的佔用空間中提供了卓越的靈活性、高精度和可靠的性能。MEGA® 系統具備彈性的補給速率、即時製程監控以及可客製化的配置，最適合用於半導體製造、低固含量 CMP 應用等。

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