蒸汽輸送系統
蒸汽輸送系統
Exentec 的蒸氣輸送系統是專為最大化效率和效能而設計的化學蒸氣分配系統
Exentec 的蒸氣輸送系統是一種小巧、獨立的解決方案，可實現高效、精確的化學蒸氣輸送。它包括一個不鏽鋼起泡器容器、可選的整合式冷卻器和系統控制器，所有這些都只佔用很小的空間。設備、載氣和製程連接可從多側配置，以便靈活安裝。
系統概述：
- 載氣通過容器中的液態化學品起泡，使用噴射擴散器實現高蒸汽飽和度
- 主動線性液位感測器可維持設定液位
- 透過探針和選購的冷卻器進行溫度控制，確保一致的蒸氣輸送
外殼規格：
- 尺寸：16寬 x 16「 深 x 74.25」 高，附 3" 排氣口
- 堅固耐用的 11 號鋼材，具有耐腐蝕塗層
- 焊接的內側機櫃，用於化學品密封
- 百葉窗與後排氣管可有效排出氣體
- 電氣、冷凍機和氣體元件分區獨立
- 安全功能：排氣感應器、UL 灑水裝置、火災上升率感應器、墊片門
可用選項：
- 泡泡器尺寸：1、5、10 或 20 公升
- 整合式冷凍機
- 回收選項：手動或遠端排水，回收管路
- 載氣棒：可選壓力錶/傳送器、旁路、ESO 閥門
Exentec 的 UHP 鼓泡容器支援半導體、太陽能及相關先進製程（如 ALD、PEALD、CVD 及磊晶）的高效能蒸氣輸送。