气体搅拌器系统

气体搅拌器系统
Exentec 气体混配器是一种基于控制的闭环气体混配系统,与内置分析仪相结合
Exentec 的气体混合器通过内置的分析仪实现精确的气体混合,确保在最高 250 slpm 的可变流速下实现精确的混合比例。该系统采用 PLC 控制、用户友好的人机界面和先进的自动化技术,具有可靠性和安全性。
主要功能
- 通过实时监控实现精确的气体混合
- MFC 混合、缓冲罐和 Power Purge V 控制器
- 保持 0.3% 的混合比例精度
混合器操作:
- 可调式双气体混合,最高 250 slpm(峰值 300 slpm)
- 自动浓度监测和比例调整
- 可定制的警报和安全控制
搅拌器外壳:
- 26 英寸宽 x 21 英寸深 x 64 英寸高,双 6 英寸排气口
- 耐用、耐腐蚀钢结构
- 自动关闭、锁定门和安全玻璃窗
- 集成排气传感器、灭火装置,符合 SEMI-F14 标准
可选升级:
- 门/窗传感器、有毒物质和火灾监控器
- 高精度分析仪(< ±0.3)
- 不锈钢机柜和实时设施监控
Exentec 通过创新的气体混配解决方案,确保最高的行业正常运行时间。如需定制系统,请联系我们!