大宗特种气体系统
大宗特种气体系统
大宗特种气体系统 (BSGS) 是一种先进的分配系统，专为安全、自动输送大宗特种气体而设计
Exentec BSGS 是一种先进的 PLC 控制系统，用于安全、自动输送大宗特种气体。用户友好的触摸屏界面提供清晰的系统状态和直观的导航功能。该系统支持从一个或两个气源供气，包括气瓶束、Y 型气瓶或管式拖车。
该系统专为高流量或超高流量而设计，具有双级调节器、加热器和智能软件，可最大限度地延长正常运行时间和工具寿命。
外壳特点
- 耐用的 11 号钢，带有防腐蚀涂层
- 大型安全玻璃窗和自锁门
- 通过百叶窗和后风道优化通风
- 集成报警功能的排气传感器
- 通过 UL 认证的喷淋头
- 可选不锈钢机柜或机架
- 符合 SEMI-F14 标准
外壳尺寸：
- 三缸机柜：42 英寸宽 x 23 英寸深 x 89 英寸高，带双 6 英寸排气口
可选配件
- 带警报的门窗传感器
- 有毒气体监控器
- 火灾传感器（标准或紫外线/红外线）
- 用于各种气瓶设置的称重平台
- 单/双回路加热器和加热毯
- 用于分配的集成式 VMB
- 用于跟踪使用情况的流量计