Dzięki otwartej przestrzeni procesowej, która odzwierciedla konfigurację decktop większych stanowisk mokrych i zintegrowanemu laminarnemu przepływowi powietrza, system CELERA minimalizuje zanieczyszczenie cząstkami i oparami, dzięki czemu idealnie nadaje się do środowisk badawczych, rozwojowych i linii pilotażowych.


Kluczowe korzyści

  • Modułowa konstrukcja - w pełni konfigurowalne układy zbiorników i konfiguracje materiałów
  • Kontrola zanieczyszczeń - laminarny przepływ powietrza nad płytą roboczą zapewniający czyste środowisko procesowe
  • Wydajność w skali laboratoryjnej - opcje ręczne i półautomatyczne skracają czas przestojów i zwiększają przepustowość
  • Elastyczna obsługa podłoży - od wafli 100 mm do 300 mm i podłoży niestandardowych

Stoły CELERA® to idealne ręczne lub półautomatyczne rozwiązanie do obróbki na mokro dla badań i rozwoju półprzewodników, materiałoznawstwa i innych zastosowań o krytycznym znaczeniu dla czystości - równoważące wydajność, elastyczność i bezpieczeństwo w jednym kompaktowym systemie.


System w skrócie - najważniejsze cechy

  • Wafle od 100 mm do 300 mm oraz niestandardowe podłoża
  • Przygotowanie powierzchni i aplikacje galwaniczne
  • Opcje konfiguracji z dostępem od przodu i od tyłu
  • Obsługa dowolnej substancji chemicznej lub rozmiaru podłoża
  • Polipropylen, PVC - FM4910 lub stal nierdzewna
  • Półautomatyczne - roboty front-to-back lub mieszanie mechaniczne
  • Recyrkulacja kąpieli / filtracja - procesy wysokotemperaturowe i środowiskowe
  • Zbiorniki megasoniczne/ultradźwiękowe - usuwanie cząstek i grubych pozostałości
  • Pikowanie w kąpieli - nadtlenek wodoru, woda utleniona i dodatkowe dodatki
  • Sterowanie mikroprocesorowe lub PLC z ekranem dotykowym HMI
  • Kółka z regulacją nóg

Opcje

  • Materiały budowlane zatwierdzone przez FM 4910
  • Niestandardowe odpływy i akcesoria do obsługi chemikaliów (butle, butelki itp.)
  • System wykrywania i gaszenia pożaru C2 z atestem FM
  • Znak SEMI i CE lub inne testy i certyfikacja NRTL strony trzeciej
  • Filtracja powietrza HEPA/ULPA

Opcje CELERA
Opcje CELERA

  • Zatwierdzone materiały budowlane FM 4910
  • Niestandardowe odpływy i akcesoria do obsługi chemikaliów (karboje, butelki itp.)
  • Testowany przez FM system wykrywania i gaszenia pożaru C2
  • Testy i certyfikacja SEMI i CE Mark lub innej strony trzeciej NRTL
  • Filtracja powietrza HEPA/ULPA

Cechy CELERA
Cechy CELERA

Wafle 100-300 mm, podłoża
Przygotowanie powierzchni i galwanizacja
Opcje dostępuz przodu i z tyłu
Obsługa dowolnej substancji chemicznej lub rozmiaru podłoża
Polipropylen, PVC-FM4910, stal nierdzewna
Roboty front-to-back lub mieszanie mechaniczne
Recyrkulacja kąpieli/filtracja
Procesyw wysokiej temperaturze i otoczeniu
Megasoniczne/ultradźwiękowe usuwanie cząstek
Pikowanie kąpieli: nadtlenek wodoru, H2O

Korzyści CELERA
Korzyści CELERA

Modułowa konstrukcja W pełni konfigurowalne układy zbiorników i konfiguracje materiałów

Kontrola zanieczyszczeń Laminarny przepływ powietrza nad płytą roboczą zapewnia czyste środowisko procesowe

Wydajność w skali laboratoryjnej Opcje ręczne i półautomatyczne skracają czas przestojów i poprawiają przepustowość

Elastyczne wsparcie Od wafli 100 mm do 300 mm i niestandardowych podłoży

Dodatkowe funkcje CELERA
Dodatkowe funkcje CELERA

  • Recyrkulacja kąpieli / filtracja - procesy wysokotemperaturowe i środowiskowe
  • Zbiorniki megasoniczne/ultradźwiękowe - usuwanie cząstek i grubych pozostałości
  • Napełnianie kąpieli - nadtlenek wodoru, woda utleniona i dodatkowe dodatki
  • Sterowanie mikroprocesorowe lub PLC z ekranem dotykowym HMI
  • Kółka z regulacją nóg