Zautomatyzowana ława mokra Aeris

Niezrównana wydajność dla zmieniających się potrzeb badawczo-rozwojowych

Niezależnie od tego, czy opracowujesz węzły nowej generacji, czy dopracowujesz receptury trawienia i czyszczenia, zautomatyzowany stół Aeris® został zaprojektowany tak, aby nadążać za innowacjami. Od czyszczenia podłoża po trawienie kwasem/zasadą, ten stół mokry zapewnia wysoką wydajność. Zastosowania:

• Rozwój procesów
• Ocena materiałów
• Przygotowanie powierzchni
• Czyszczenie po wytrawianiu

Dostępne konfiguracje obejmują w pełni zamknięte, półautomatyczne i konfigurowalne footprinty, aby dopasować się do układu laboratorium i przepływu pracy.

Interfejs sterowania systemu oparty na komputerze PC umożliwia ciągłe monitorowanie postępu wafli w różnych kąpielach procesowych, co z kolei maksymalizuje ogólną przepustowość wafli poprzez monitorowanie czasów zakończenia każdego procesu i automatyczny transport wafli przez kolejne kąpiele. Każda partia wafli jest identyfikowana za pomocą kodu ID partii, a receptury procesów są automatycznie pobierane do procesora za pośrednictwem wbudowanego systemu sterowania opartego na systemie Windows PC. Baza danych i system monitorowania mogą być podłączone do systemów korporacyjnych za pośrednictwem interfejsu SECS II w celu monitorowania w czasie rzeczywistym i rejestrowania danych.

Zautomatyzowane stanowiska mokre Aeris®: Dla dwóch lub więcej kąpieli procesowych

Automatyzacja stanowisk mokrych Aeris jest przeznaczona do procesów z dwoma lub więcej zbiornikami procesowymi. System transferu może być skonfigurowany jako liniowa konfiguracja przód-tył lub lewo-prawo lub jako system 3-osiowy umożliwiający bardziej złożony transfer między wannami na mniejszej powierzchni. Systemy transferu są zaprojektowane tak, aby pomieścić pojedyncze lub podwójne kasety waflowe do 200 mm lub pojedynczą kasetę waflową 300 mm. System sterowania obejmuje sterownik PLC i kolorowy interfejs z ekranem dotykowym (HMI). PLC posiada wielopoziomową ochronę hasłem i może przechowywać wiele receptur procesowych, podczas gdy HMI ma wiele ekranów do konserwacji, konfiguracji receptur, konfiguracji zbiornika, obsługi i stanu alarmowego.

System w skrócie: wyróżnione funkcje

• Elastyczne konfiguracje do obsługi dowolnego mokrego zastosowania chemicznego
• Obsługa zarówno pojedynczego wafla, jak i przetwarzania wsadowego
• Wafle od 100 mm do 300 mm oraz niestandardowe podłoża
• Liniowe lub wieloosiowe konfiguracje robotów
• Wiele konfiguracji załadunku/rozładunku
• Opcje środowiska otwartego lub w pełni zamkniętego
• Recyrkulacja kąpieli / filtracja
• Zastosowania ogrzewane, chłodzone lub w warunkach otoczenia
• Zbiorniki megasoniczne i/lub ultradźwiękowe
• Opcje monitorowania chemicznego / metrologii
• Stężenie, przewodność, pH, temperatura, liczba cząstek itp.
• Dystrybucja masowa lub dozowanie na pokładzie
• Zanurzanie w kąpieli - nadtlenek wodoru, woda utleniona i dodatkowe dodatki
• Suszenie w gradiencie napięcia powierzchniowego
• Sterowanie miSCADA - integracja sterowników PLC, serwerów Modbus, OPC/OPC UA, MQTT i SECS/GEM

Opcje

• Materiały budowlane zatwierdzone przez FM 4910.
• Zatwierdzony przez FM system wykrywania i gaszenia pożaru CO2
• Oznakowanie SEMI i CE lub inne testy i certyfikaty strony trzeciej NRTL
• Filtracja powietrza HEPA/ULPA
• Urządzenie oświetleniowe
• Komputer PC z systemem Windows i opcjami sieciowymi
• Dostępne oprogramowanie SECS/GEM lub oprogramowanie do zarządzania aktywami