Cechy MEGA SA100
Cechy MEGA SA100
- Ilościowe monitorowanie stężenia online
- Do 6 strumieni ślizgowych (ta sama chemia) do wielopunktowej analizy wielu systemów
- Programowalne receptury pobierania próbek, oczyszczania i uzupełniania składników Specjalne testy i czujniki elektrochemiczne do dokładnych, ukierunkowanych pomiarów
- Wbudowana funkcja automatycznego płukania/oczyszczania za pomocą Di lub nadtlenku z ręcznym sterowaniem
- Ciśnieniowe pobieranie próbek ze źródeł narzędziowych
- Segregowane przedziały chemiczne i elektryczne
- Awaryjne wyłączenie maszyny (E.M.O.), alarmy dźwiękowe/wizualne i wykrywanie wycieków
- Zgodność z normą SEMI S2 i weryfikacja układu wydechowego
Zalety MEGA SA100
Zalety MEGA SA100
- Zwiększenie wydajności produktu poprzez dokładne utrzymanie składu chemicznego procesu
- Monitorowanie degradacji chemicznej w całym cyklu życia produktu
- Szybkie wykrywanie i korygowanie zmian w procesie
- Minimalizacja ryzyka utraty partii dzięki wglądowi w skład chemiczny w czasie rzeczywistym
- Dostępność systemu na poziomie 99,9% zapewnia niezawodną pracę bez przestojów
- Sterowanie bezpośrednio z systemu mieszania (nie jest wymagany zewnętrzny sterownik PLC)
Zastosowania MEGA SA100
Zastosowania MEGA SA100
- Produkcja półprzewodników
- Monitorowanie zawiesiny po procesie CMP
- Produkcja ogniw słonecznych i fotowoltaicznych
- Procesy CMP o niskiej zawartości części stałych
- Produkcja LED i węglika krzemu (SiC)
- Przemysł lotniczy i ECD (osadzanie elektrochemiczne)
- Produkcja urządzeń IoT Seria SA100 - bardzo dokładne miareczkowanie zawiesiny i analiza chemiczna
Cechy serii MEGA® SA200
Cechy serii MEGA® SA200
- Wykrywanie wielkości cząstek od 0,2 μm do 20 μm (w zależności od konfiguracji)
- Regulowany podział wielkości cząstek dla danych ziarnistych
- Obsługa rozcieńczania do 1 000 000:1 (dwustopniowego)
- Wiele opcji czujników i konfiguracji szeregowych do weryfikacji
- Długoterminowe monitorowanie wydajności partii i filtrów
- Akceptuje pobieranie próbek lub ciągłe pobieranie próbek
- Ręczne sterowanie rozcieńczaniem i płukaniem z opcjami DI lub chemicznymi
- Konstrukcja z odpornych chemicznie tworzyw sztucznych PFA i przepływomierzy 316 SS
- Opcjonalne obudowy zgodne z FM 4910 lub WPP