Zoptymalizuj dystrybucję zawiesiny dzięki MEGA®

Systemy dystrybucji MEGA® to zaawansowane, skalowalne rozwiązania do dostarczania mieszanej zawiesiny w zastosowaniach półprzewodnikowych i CMP. Systemy dystrybucji MEGA® zostały zaprojektowane z myślą o precyzji, elastyczności i integracji w środowiskach przetwarzania zawiesiny CMP - niezależnie od tego, czy wspierają nowe instalacje, czy modernizują istniejące fabryki.

Główne zalety
Główne zalety

  • Niezawodna wydajność: Zaprojektowany do dozowania zawiesiny CMP o małej i średniej objętości, zapewniający niezawodne działanie i obsługę narzędzi.
  • Skalowalna konfiguracja: Modułowa konstrukcja umożliwia dostosowanie do obsługi określonej liczby globalnych pętli zawiesiny - idealne rozwiązanie dla rozwijających się lub zmieniających się środowisk fabryk.
  • Ekonomiczna konstrukcja oferuje niską cenę bez poświęcania jakości lub wydajności, co czyni ją ekonomicznym wyborem dla fabryk i pomieszczeń czystych.

Obsługiwane branże
Obsługiwane branże

  • Produkcja półprzewodników
  • Przetwarzanie post-CMP
  • Energia słoneczna / fotowoltaika (PV)
  • Zastosowania CMP o niskiej zawartości części stałych
  • Produkcja diod LED
  • Węglik krzemu (SiC) / produkcja urządzeń IoT

Kanały DIspense
Kanały DIspense

System MEGA® SD1000 jest przeznaczony do dystrybucji zawiesiny koloidalnej i dymionej na liniach polerujących o małej i średniej objętości. Każdy kanał dozowania jest wyposażony w dedykowany zbiornik:

  • Zbiornik dystrybucyjny
  • Pompę szlamu
  • Jednostkę filtrującą
  • Elementy obwodu pętli globalnej

Zainstalowany na poziomie fabryki, SD1000 jest zoptymalizowany do dostarczania gnojowicy do polerek w promieniu 100 stóp, utrzymując ciśnienie w punkcie użycia (POU) między 20-30 psi dla stabilnego i wydajnego przepływu gnojowicy.

Główne cechy
Główne cechy

  • Zautomatyzowane płukanie, oczyszczanie i opróżnianie obiegów surowej i mieszanej zawiesiny
  • Ciągła recyrkulacja w zbiorniku w celu utrzymania jednorodności gnojowicy
  • Stożkowe zbiorniki denne o pojemności 15 galonów (56 l) wykonane z naturalnego polipropylenu (PP) Trójniki powietrza i gnojowicy z pojemnościowym czujnikiem gazu do usuwania powietrza uwięzionego w pętlach globalnych
  • Zintegrowany nawilżacz bąbelkowy z dystrybucją azotu (N₂) do pokrycia zbiornika.
  • Monitorowanie H₂O₂ w obwodzie dozowania
  • Przełącznik/wskaźnik różnicy ciśnień wylotowych
  • Ręczne porty próbkowania dla każdego obwodu zawiesiny