Zaprojektowane dla starszych i nowszych zastosowań
Zaprojektowane, aby spełnić wysokie wymagania produkcji półprzewodników, aplikacji CMP i innych procesów chemicznych o wysokiej czystości, systemy te obsługują szeroki zakres proporcji mieszania i szybkości uzupełniania, dzięki czemu idealnie nadają się zarówno do starszych, jak i nowej generacji zastosowań.
Zaprojektowane z myślą o całkowitej niezawodności i powtarzalności, systemy mieszania MEGA® oferują zautomatyzowane sterowanie, inteligentne monitorowanie i konfigurowalne pojemności zbiorników, aby spełnić specyficzne wymagania każdego środowiska procesowego.
Bogata w funkcje inżynieria
Bogata w funkcje inżynieria
- Precyzyjne wsparcie mieszania dla szerokiego zakresu proporcji i chemikaliów
- Całkowita pojemność mieszania od 30 do 500 litrów, w zależności od konfiguracji systemu
- Zautomatyzowane płukanie, oczyszczanie i opróżnianie obwodów surowców i mieszania dla maksymalnej czystości
- Nawilżacz typu Bubbler zapewnia koc azotowy (N₂) nad zbiornikiem mieszanki w celu ochrony czystości.
- Ręczne porty próbkowania do weryfikacji jakości mieszanki
Maksymalizacja korzyści związanych z wydajnością
Maksymalizacja korzyści związanych z wydajnością
- Monitorowanie wydechu w celu zapewnienia bezpieczeństwa i kontroli procesu
- Ręczny zawór tłumiący do kontroli przeciwciśnienia w przewodzie powrotnym pętli transferowej
- Ręczna izolacja, obejście, opróżnianie i odgazowywanie dla lepszej kontroli filtra
- Pojemnościowe czujniki pustego bębna dla nieprzerwanego dostarczania materiału
- Przetwornik ciśnienia do monitorowania ciśnienia zasilania surowcem w czasie rzeczywistym
Aplikacje dla wielu obiektów
Aplikacje dla wielu obiektów
- Produkcja płytek półprzewodnikowych
- Planaryzacja chemiczno-mechaniczna (CMP)
- Produkcja fotowoltaiczna i mikroelektroniczna
- Precyzyjne powłoki i zaawansowane materiały badawczo-rozwojowe
Bogata w funkcje inżynieria
Bogata w funkcje inżynieria
- Precyzyjne wsparcie mieszania dla szerokiego zakresu proporcji i chemikaliów
- Całkowita pojemność mieszania od 30 do 500 litrów, w zależności od konfiguracji systemu
- Zautomatyzowane płukanie, oczyszczanie i opróżnianie obwodów surowców i mieszania dla maksymalnej czystości
- Nawilżacz typu Bubbler zapewnia koc azotowy (N₂) nad zbiornikiem mieszanki w celu ochrony czystości.
- Ręczne porty próbkowania do weryfikacji jakości mieszanki