Cyclone jest najlepszym systemem Exentec do oczyszczania na mokro i zawiera wszystkie zaawansowane funkcje, które pozwalają Exentec twierdzić, że nie ma przestojów narzędzi procesowych związanych z systemem.

Korzystne cechy

• Eductor Cone: Utrzymuje linię wydechową w lekko ujemnym ciśnieniu (nominalny pobór 1-2 cali wody).
• Urządzenia wlotu gazu: Specjalistyczne urządzenia wlotu gazu minimalizują stopień ograniczenia, a automatyczny tłok wlotu gazu usuwa ograniczenia bez przerywania procesu.
• Kolumna pakowana: Ostateczne wykończenie. Opakowanie nie wymaga konserwacji ani wymiany
• Druga komora szorująca: Pięć drobnych dysz natryskowych i dysze o dużej prędkości zapewniają skuteczne usuwanie zanieczyszczeń.
• Pierwsza komora szorująca: Dysza gruboziarnista o wysokim przepływie pokrywa komorę i usuwa zanieczyszczenia masowe.
• Dopływ świeżej wody: Strategiczne położenie zwiększa wydajność, minimalizuje zużycie wody i eliminuje powstawanie piany
• Pompa: Odporna na korozję, wysoka wydajność i długa żywotność. Recyrkulacja 25GPM
• Geometria zbiornika: Unikalne umiejscowienie wejścia pompy, spustu i wejścia świeżej wody zapobiega powstawaniu piany, osadów i minimalizuje zużycie wody.
• Niewielkie wymiary: 24,5 cala na 32,5 cala

Typy wlotów

• Podgrzewany/CVD: Połączenie wewnętrznie podgrzewanego, wyłożonego teflonem i izolowanego wlotu z naszym zautomatyzowanym tłokiem może zredukować przestoje związane z systemem do zera.
• Wlot Poly Etch CVD: Wysoce wydajna redukcja gazu dzięki opatentowanym urządzeniom wlotu gazu, które minimalizują ograniczenia.
• Wlot wysokotemperaturowy: dla strumienia gazu o wysokiej temperaturze do 220ºC
• Wlot epitaksjalny: Specjalistyczne urządzenie wlotu gazu Exentec, które minimalizuje ograniczenia wlotu i zautomatyzowany tłok wlotu gazu, który wydłuża okres praktycznej konserwacji do co 6 miesięcy.
  

Konfiguracje wlotów

• Standardowy Epitaxial: Tylko 1 port dla Epitaxial i Cyclone, 2-calowe złącze wsuwane z PVC
• Standardowy nieogrzewany cyklon od 1 do 4 portów. 1,5-calowe wloty wsuwane z PVC są standardem, ale można je zmodyfikować tak, aby zawierały wzmocnione SS adaptery kołnierzowe KF 40.
• Standard XL: tylko 2 porty, tylko nieogrzewany, KF 80, SS
• Standard 1 do 4 portów podgrzewanych, Cyclone 1,5-calowy kołnierz SS KF 40