Filtry AMC
Filtry AMC
Exentec jest jednym z pionierów w rozwoju filtrów AMC
Szczególnym wyzwaniem w wysoce czystych środowiskach produkcyjnych (tj. w produkcji półprzewodników) jest usuwanie z powietrza procesowego zanieczyszczeń cząsteczkowych (AMC), takich jak kwasy, zasady, kondensaty i domieszki. Zanieczyszczenia te mogą prowadzić do niepożądanych reakcji chemicznych na powierzchni płytek i urządzeń procesowych. Będąc jednym z pionierów w rozwoju filtrów AMC, Exentec oferuje szeroką gamę różnych produktów filtracyjnych dla różnych obszarów zastosowań, takich jak filtry powietrza uzupełniającego lub powrotnego do sufitów pomieszczeń czystych lub do ochrony narzędzi i procesów.
Produkty są opracowywane w naszym wewnętrznym centrum technologicznym i są kwalifikowane i optymalizowane pod kątem wszystkich istotnych aspektów, takich jak pojemność filtra (= maksymalna żywotność), najwyższa skuteczność usuwania (= maksymalna ochrona procesu), najniższy spadek ciśnienia (= oszczędność energii), najniższe odgazowywanie i rozwój cząstek.
INX/PCF-ABCD
INX/PCF-ABCD z metalową ramą zawierającą kombinację mediów do usuwania wszystkich możliwych cząsteczkowych zanieczyszczeń powietrza AMC. To połączenie mediów jonowymiennych z impregnowanym materiałem z węgla aktywnego łączy w sobie najlepsze ze wszystkich technologii filtracyjnych, aby usunąć cały zakres AMC w jednej obudowie filtra. Ten kombinowany filtr zapewnia wysoką skuteczność usuwania i długi okres użytkowania filtra.
R-PCF-CD
R-PCF-CD to kompaktowe filtry do oczyszczania lotnych związków organicznych (LZO). Ten model z serii PCF jest wyposażony w ogromną ilość wysokiej jakości węgla aktywnego, co prowadzi do najdłuższej możliwej żywotności filtra i wysokiej skuteczności usuwania nawet przy niskich stężeniach wlotowych. Dlatego też zapewnia optymalną ochronę krytycznych procesów w przemyśle półprzewodników i płaskich paneli. Dzięki inteligentnej konstrukcji spadek ciśnienia jest utrzymywany na bardzo niskim poziomie, co pomaga obniżyć koszty energii elektrycznej.
INX-A
INX-A z metalową ramą zawierającą różne granulowane lub włókniste media jonowymienne z medium anionowymiennym do usuwania kwasów. Prowadzi to do bardzo wysokiej skuteczności usuwania, a także niezrównanej wysokiej wydajności, a tym samym do długiej żywotności filtra. Filtr charakteryzuje się również bardzo niskim spadkiem ciśnienia, co pomaga utrzymać niskie koszty energii.
INX-B
INX-B z metalową ramą zawierającą różne granulowane lub włókniste media jonowymienne z medium kationowym do usuwania zasad. Prowadzi to do bardzo wysokiej skuteczności usuwania, a także niezrównanej wysokiej wydajności, a tym samym do długiej żywotności filtra. Filtr charakteryzuje się również bardzo niskim spadkiem ciśnienia, co pomaga utrzymać niskie koszty energii.
CCF-CD
CCF-CD z polistyrenową ramą zawierającą nośnik z węglem aktywnym o wysokim stopniu aktywacji do usuwania skroplin lub lotnych związków organicznych.
CCF-ACD
CCF-ACD z polistyrenową ramą zawierającą impregnowany materiał węglowy do usuwania kwasów, a także substancji kondensujących / LZO. Filtr ten jest filtrem w kształcie litery V z plisowanym, impregnowanym materiałem z węgla aktywnego. Charakteryzuje się niskim spadkiem ciśnienia i wysoką adsorpcją i jest stosowany do usuwania kwaśnych zanieczyszczeń. Filtr jest w pełni spalalny.
CCF-ACD
