Ontworpen ter ondersteuning van een groot aantal hightech industrieën

Zoals CMP, siliciumcarbide, LED's, zonne-energie en optica, leveren deze systemen uitzonderlijke flexibiliteit, hoge nauwkeurigheid en betrouwbare prestaties in een compact formaat. Met flexibele make-upsnelheden, real-time procesbewaking en aanpasbare configuraties zijn MEGA® systemen geoptimaliseerd voor halfgeleiderfabricage, CMP-toepassingen met weinig vaste stoffen en meer.

Neem contact op met MEGA® voor meer informatie over op maat geconfigureerde meng- en verdeelsystemen voor slurry voor uw productie- of cleanroom.

Systeem in een oogopslag: gemarkeerde functies
Systeem in een oogopslag: gemarkeerde functies

  • Flexibele werking
  • Ondersteunt speciale chemische processen van kleine tot grote volumes
  • Instelbare doseerdruk op gebruikspunt voor diverse gereedschapsvereisten
  • Schaalbaar en configureerbaar ontwerp
  • Meerdere systeemmodellen op maat van specifieke fab en cleanroom lay-outs
  • Aanpasbare opties voor zowel nieuwe als aangepaste faciliteiten
  • Bewezen betrouwbaarheid
  • Ontworpen voor productieomgevingen met hoge doorvoer
  • Lage totale eigendomskosten met robuuste systeemprestaties

Belangrijkste voordelen
Belangrijkste voordelen

  • Schaalbare architectuur ondersteunt uitbreiding als productievereisten groeien
  • Compatibel met meerdere op Ethernet gebaseerde protocollen en oudere interfaces
  • Werkt als een standalone PLC-systeem of integreert eenvoudig in bestaande SCADA-infrastructuur
  • Redundante voeding, communicatie en besturingslogica verbeteren de uptime en operationele veiligheid
  • Ontworpen voor CMP-fabrieken, slurrysystemen en chemicaliënlevering via wereldwijde lusnetwerken

Opties
Opties

  • Redundante AC-voeding
  • Redundante communicatieverbindingen
  • Redundante programmeerbare logische controllers (PLC's) voor failover-bescherming

Geschikte toepassingen
Geschikte toepassingen

  • Distributiesystemen voor CMP-slurry (kleine en grote fabs)
  • Chemicaliëntoevoersystemen met wereldwijde kringloop
  • Communicatienetwerken voor meerdere gereedschappen
  • Bewaking van chemische of gaskasten
  • Procesbesturingsinterface voor oudere en moderne gereedschapintegratie