Progettati per supportare un'ampia gamma di settori high-tech

Tra cui CMP, carburo di silicio, LED, solare e ottica, questi sistemi offrono flessibilità eccezionale, elevata precisione e prestazioni affidabili in un ingombro ridotto. Grazie a velocità di reintegro flessibili, monitoraggio del processo in tempo reale e configurazioni personalizzabili, i sistemi MEGA® sono ottimizzati per la produzione di semiconduttori, applicazioni CMP a basso contenuto di solidi e altro ancora.

Contattate MEGA® per esplorare i sistemi di miscelazione e distribuzione dei fanghi configurati su misura per la vostra fabbrica o camera bianca.

Il sistema in sintesi: caratteristiche in evidenza
Il sistema in sintesi: caratteristiche in evidenza

  • Funzionamento flessibile
  • Supporta processi chimici speciali a basso e alto volume
  • Pressioni di erogazione regolabili al punto d'uso per diversi requisiti degli utensili
  • Design scalabile e configurabile
  • Modelli di sistema multipli adattati a layout specifici di fabbriche e camere bianche
  • Opzioni personalizzabili per impianti nuovi e ristrutturati
  • Affidabilità comprovata
  • Progettato per ambienti di produzione ad alta produttività
  • Basso costo totale di proprietà con prestazioni di sistema robuste

Vantaggi principali
Vantaggi principali

  • L'architettura scalabile supporta l'espansione in base all'aumento dei requisiti di produzione
  • Compatibile con diversi protocolli basati su Ethernet e interfacce legacy
  • Funziona come sistema PLC autonomo o si integra facilmente nell'infrastruttura SCADA esistente
  • L'alimentazione, le comunicazioni e la logica di controllo ridondanti migliorano i tempi di attività e la sicurezza operativa
  • Progettato per fabs CMP, sistemi di slurry e distribuzione di prodotti chimici attraverso reti di loop globali

Opzioni
Opzioni

  • Alimentazione CA ridondante
  • Collegamenti di comunicazione ridondanti
  • Controllori logici programmabili (PLC) ridondanti per la protezione failover

Applicazioni adatte
Applicazioni adatte

  • Sistemi di distribuzione di slurry CMP (fabs di piccole e grandi dimensioni)
  • Sistemi di fornitura di prodotti chimici a ciclo globale
  • Reti di comunicazione multi-punto per utensili
  • Monitoraggio di armadi chimici o di gas
  • Interfaccia di controllo del processo per l'integrazione di utensili tradizionali e moderni