
Progettati per supportare un'ampia gamma di settori high-tech
Tra cui CMP, carburo di silicio, LED, solare e ottica, questi sistemi offrono flessibilità eccezionale, elevata precisione e prestazioni affidabili in un ingombro ridotto. Grazie a velocità di reintegro flessibili, monitoraggio del processo in tempo reale e configurazioni personalizzabili, i sistemi MEGA® sono ottimizzati per la produzione di semiconduttori, applicazioni CMP a basso contenuto di solidi e altro ancora.
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