Miscelazione e consegna di fanghi CMP
Miscelazione e consegna di fanghi CMP
Eliminare le costose metrologie offline ad alta intensità di lavoro e le regolazioni manuali dei processi
Le fabbriche di semiconduttori hanno limiti di controllo superiori e inferiori (UCL / LCL) sempre più stretti per una serie di parametri di processo critici. Questi parametri comprendono funzioni correlate specifiche alla concentrazione e molte altre associate alle operazioni di miscelazione e distribuzione di fanghi CMP di una determinata azione chimica critica.
Per raggiungere questo obiettivo sono stati compiuti importanti progressi nella metrologia, che variano per aree e principi; ma molti di essi oggi sono solo misure o verifiche offline, utilizzate per soddisfare la precisione e l'accuratezza richieste per questi limiti di controllo.
Per eliminare la necessità di strumenti offline, Exentec ha una pratica comprovata di caratterizzazione della lucidatura chimico-meccanica, in cui è possibile utilizzare vari dispositivi metrologici, o combinazioni di questi dispositivi, per ottenere il miglior controllo in linea guidato dalla metrologia con il massimo livello di precisione.
Exentec può utilizzare questo concerto di strumenti per ottenere risultati in linea in tempo reale che hanno dimostrato di soddisfare o superare i livelli osservati da molti metodi offline.
Vantaggi
- Maggiore precisione della miscela e controllo in tempo reale
- Massimo tempo di attività
- Sistema completamente automatizzato
- Basso costo di proprietà
- HMI flessibile e di facile utilizzo
- Ridondanza del sistema e/o dei componenti per massimizzare i tempi di attività della produzione
- Lavaggio automatico del sistema
- Design efficiente dal punto di vista dello spazio
- Configurazione e manipolazione completa della miscela
Sistemi chimici ad alta purezza
Offriamo attrezzature, servizi di assistenza sul campo e competenze tecniche per soddisfare le varie esigenze applicative di erogazione di fluidi ad alta purezza, miscelazione di sostanze chimiche e sistemi di fanghi CMP all'avanguardia per la produzione di semiconduttori e altre industrie ad alta tecnologia.
Scarico di sostanze chimiche
Il sistema di trasferimento e scarico Exentec Titan™ trasferisce automaticamente un prodotto chimico acquoso dall'armadio di scarico della cisterna ai serbatoi di distribuzione principali.
Distribuzione chimica
Exentec offre attrezzature, servizi di assistenza e competenze tecniche per soddisfare le esigenze applicative nella progettazione e produzione di sistemi di distribuzione di prodotti chimici ad alta e bassa purezza.
Miscelazione in linea
La tecnologia brevettata di Exentec per la miscelazione di prodotti chimici in linea e la fornitura di soluzioni chimiche è in grado di adattarsi alla variazione dinamica delle portate da parte degli utenti finali o dei punti di utilizzo, mantenendo una precisa accuratezza della miscela.
Generazione chimica
La tecnologia di generazione chimica in loco di NH4OHdi Exentec aiuta gli stabilimenti di semiconduttori a ridurre significativamente i costi complessivi di approvvigionamento chimico, a migliorare la resilienza e ad aumentare la sostenibilità ecologica.