Nous offrons plusieurs services d'analyse des paramètres critiques et de surveillance des systèmes d'eau ultrapure. Pour garantir la haute qualité des analyses, la zone d'analyse d'Exentec est reliée à une installation interne d'eau ultrapure.

Nos services d'analyse de l'eau ultrapure comprennent :

• Anions et cations avec des limites de détection de l'ordre du ppt
• Métaux à l'état de traces jusqu'à la gamme sub-ppt
• Détermination du COT jusqu'à 0,1 ppb
• Mesure des particules jusqu'à une taille de 0,05 μm
• Détermination de la résistivité de l'eau, des bactéries et de la charge en silice
• Évaluation de la conformité selon les spécifications du client

Analyse de traces

Le processus et la qualité du produit peuvent être affectés par une eau de rinçage contaminée qui contient différents contaminants organiques et inorganiques. L'intégration de toutes les technologies de purification de l'eau permet d'améliorer la pureté de l'eau à un niveau très élevé en éliminant les particules, les composants organiques et inorganiques ainsi que les gaz dissous. L'industrie des semi-conducteurs exige des limites de tolérance de plus en plus strictes pour les contaminants présents dans l'eau ultra-pure, en particulier pour les métaux critiques et le COT. Cela exige un programme de test analytique soigneusement structuré pour les paramètres critiques tels que les ions, les métaux, les particules, les composés organiques et les bactéries afin de garantir une qualité élevée de l'eau ultrapure.

Nos services d'analyse des traces comprennent :

• Test de la qualité de l'eau dans un outil de traitement ou un mini-environnement pour le conditionnement de l'eau usée.
• Analyse de la qualité de l'eau dans l'ensemble du système, du point d'entrée (POE) au point d'utilisation (POU)
• Contrôle de la qualité de l'eau à plusieurs points de transfert
• Préqualification des matériaux polymères de très haute pureté (UHP) (tubes, tuyaux, membranes, etc.) pour les systèmes de distribution d'eau chaude par des tests de lixiviation statiques ou dynamiques.

Essai de lixiviation

Les matériaux et composants polymères utilisés dans les systèmes de distribution d'eau potable sont des sources potentielles de contamination qui peuvent affecter négativement la qualité de l'eau. À cette fin, les matériaux polymères de très haute pureté (UHP) utilisés dans le processus de production doivent répondre à des spécifications précises de la norme SEMI. La préqualification de ces matériaux est donc indispensable avant qu'ils ne soient utilisés dans les systèmes UPW.

Nous fournissons les procédures de test des matériaux suivantes :

• Essai de lixiviation statique des tubes, tuyaux, membranes, valves, joints toriques selon SEMI F40 dans des salles blanches de classe 5.
• Conditions d'essai 85 ± 5 °C, 7 jours (d'autres conditions d'essai peuvent être appliquées)
• Analyse de la contamination ionique, métallique et organique
• Détermination de la contamination particulaire lors d'un test de rinçage selon SEMI F104
• Évaluation de la conformité aux spécifications de contamination SEMI F57
• Tests de lixiviation dynamique, c'est-à-dire flux continu pour la classification de l'eau usée à travers une pièce ou un assemblage, conformément aux normes SEMI et aux spécifications du client.
• Test de la qualité de l'eau dans l'ensemble du système, du point d'entrée (POE) au point d'utilisation (POU).