La réduction de tous les types de contamination de l'air est un objectif majeur dans la fabrication de produits sensibles à la contamination tels que les plaquettes, les optiques, les lasers et les procédés tels que la lithographie dans l'ultraviolet extrême (EUV).

Le dégazage des matériaux et des dispositifs utilisés dans les salles blanches (par exemple, les matériaux de construction, les revêtements de sol, les produits d'étanchéité, les installations, les consommables) est la principale source de contamination par les composés organiques volatils (COV). L'analyse du comportement de dégazage des matériaux utilisés dans les environnements propres est une première étape importante pour minimiser le potentiel d'émission des AMC et améliorer la qualité de l'air intérieur.

Tests de dégazage des matériaux

La concentration des contaminants moléculaires en suspension dans l'air est un facteur de propreté important et a un impact significatif sur les processus de production et la qualité des produits. Les principaux émetteurs de COV et d'ammoniac sont particulièrement intéressants.

Notre procédure de mesure et d'évaluation de l'AMC comprend :

• Test de dégazage pour les composés organiques (COV + COVS) conformément aux directives Exentec et à la norme VDI 2083-17
• Évaluation correspondant aux critères d'acceptation d'Exentec pour les salles blanches et les mini-environnements
• Détermination de la classe ISO - AMCm normalisée spécifique au matériau et possibilité de calculer la classe ISO-AMC-CR pour les salles blanches réelles.
• Analyse par désorption thermique (TD) - GC / MS
• Certificat Exentec pour le matériau testé
  

Contrôle des produits et des processus pour les dispositifs optiques et laser

Outre leur importance dans l'industrie des semi-conducteurs, les environnements propres sont également essentiels dans la fabrication de produits optoélectroniques (LED) et de systèmes laser, ainsi que dans des applications telles que la métrologie laser. Le dégazage de composés organiques, en particulier de composés condensables, a été identifié comme la principale source de détérioration des optiques. La contamination organique peut entraîner un voile à la surface des optiques, une dégradation du revêtement, une réduction de la transmission du signal ou du signal laser lui-même et peut augmenter la probabilité d'endommagement du laser.

Les sources de dégazage organique peuvent être les joints, les circuits imprimés, l'isolation des câbles, les agents de nettoyage, les revêtements, les résines et autres. Les composés critiques sont les siloxanes, les amines aromatiques et les hydrocarbures aromatiques à point d'ébullition élevé comme les phtalates.

Le contrôle des produits et des processus comprend :

• Essais de composants et de matériaux pour le contrôle de la production
• Analyse de dépistage des composés organiques par désorption thermique
• Évaluation des composés organiques à faible, moyen et haut point d'ébullition
• Délivrance de certificats Exentec