Entwickelt für eine breite Palette von High-Tech-Industrien
Dazu gehören CMP, Siliziumkarbid, LEDs, Solar und Optik. Diese Systeme bieten außergewöhnliche Flexibilität, hohe Genauigkeit und zuverlässige Leistung bei kompakter Bauweise. Mit flexiblen Nachfüllraten, Prozessüberwachung in Echtzeit und anpassbaren Konfigurationen sind die MEGA®-Systeme für die Halbleiterfertigung, CMP-Anwendungen mit geringem Feststoffanteil und vieles mehr optimiert.
Setzen Sie sich mit MEGA® in Verbindung, um maßgeschneiderte Misch- und Verteilungssysteme für Ihre Fertigung oder Ihren Reinraum zu finden.