Entwickelt für eine breite Palette von High-Tech-Industrien

Dazu gehören CMP, Siliziumkarbid, LEDs, Solar und Optik. Diese Systeme bieten außergewöhnliche Flexibilität, hohe Genauigkeit und zuverlässige Leistung bei kompakter Bauweise. Mit flexiblen Nachfüllraten, Prozessüberwachung in Echtzeit und anpassbaren Konfigurationen sind die MEGA®-Systeme für die Halbleiterfertigung, CMP-Anwendungen mit geringem Feststoffanteil und vieles mehr optimiert.

Setzen Sie sich mit MEGA® in Verbindung, um maßgeschneiderte Misch- und Verteilungssysteme für Ihre Fertigung oder Ihren Reinraum zu finden.

System auf einen Blick: hervorgehobene Merkmale
System auf einen Blick: hervorgehobene Merkmale

  • Flexibler Betrieb
  • Unterstützt niedrig- bis hochvolumige Prozesse in der Spezialchemie
  • Einstellbarer Point-of-Use-Dosierdruck für unterschiedliche Werkzeuganforderungen
  • Skalierbares & konfigurierbares Design
  • Mehrere Systemmodelle, die auf spezifische Fertigungs- und Reinraumlayouts zugeschnitten sind
  • Anpassbare Optionen sowohl für neue als auch für nachgerüstete Anlagen
  • Bewährte Zuverlässigkeit
  • Entwickelt für Fertigungsumgebungen mit hohem Durchsatz
  • Niedrige Gesamtbetriebskosten bei robuster Systemleistung

Wichtigste Vorteile
Wichtigste Vorteile

  • Skalierbare Architektur unterstützt die Erweiterung bei steigenden Produktionsanforderungen
  • Kompatibel mit mehreren Ethernet-basierten Protokollen und älteren Schnittstellen
  • Funktioniert als eigenständiges SPS-System oder lässt sich problemlos in eine bestehende SCADA-Infrastruktur integrieren
  • Redundante Stromversorgung, Kommunikation und Steuerlogik verbessern die Betriebszeit und Betriebssicherheit
  • Konzipiert für CMP-Fabriken, Schlammsysteme und die Lieferung von Chemikalien über globale Ringnetzwerke

Optionen
Optionen

  • Redundante AC-Stromversorgung
  • Redundante Kommunikationsverbindungen
  • Redundante speicherprogrammierbare Steuerungen (PLCs) für Ausfallsicherheit

Geeignete Anwendungen
Geeignete Anwendungen

  • CMP-Slurry-Verteilungssysteme (kleine und große Fabriken)
  • Globale Kreislaufsysteme für Chemikalien
  • Multi-Point-Werkzeug-Kommunikationsnetzwerke
  • Überwachung von Chemikalien- oder Gasschränken
  • Prozesssteuerungsschnittstelle für die Integration älterer und moderner Werkzeuge