Vi tilbyder flere tjenester inden for analyse af kritiske parametre og overvågning af ultrarene vandsystemer. For at sikre en høj analysekvalitet er Exentecs analyseområde forbundet med et internt anlæg til ultrarent vand.

Vores tjenester inden for analyse af ultrarent vand omfatter:

• Anioner og kationer med detektionsgrænser i ppt-området
• Spormetaller ned til sub-ppt-området
• TOC-bestemmelse ned til 0,1 ppb
• Partikelmåling ned til en partikelstørrelse på 0,05 μm
• Bestemmelse af vandresistivitet, bakterier og silica-belastning
• Overensstemmelsesevaluering i henhold til kundespecifikationer

Analyse af spor

Processen og produktkvaliteten kan blive påvirket af forurenet skyllevand, der indeholder forskellige organiske og uorganiske forureninger. Ved at integrere alle teknologier til vandrensning opgraderes vandets renhed til et ultrahøjt niveau ved at fjerne partikler, organiske og uorganiske komponenter samt opløste gasser. Halvlederindustrien kræver stadig strengere tolerancegrænser for forurenende stoffer i ultrarent vand, især for kritiske metaller og TOC. Dette kræver et omhyggeligt struktureret, analytisk testprogram for kritiske parametre som ioner, metaller, partikler, organiske forbindelser og bakterier for at sikre en høj kvalitet af UPW.

Vores sporanalysetjenester omfatter:

• Test af vandkvaliteten i et procesværktøj eller minimiljø til konditionering af UPW
• Test af vandkvaliteten i det samlede system fra Point Of Entry (POE) til Point Of Use (POU)
• Kontrol af vandkvaliteten ved flere overførselspunkter
• Prækvalificering af polymermaterialer med ultrahøj renhed (UHP) (rør, slanger, membraner osv.) til UPW-distributionssystemer ved hjælp af statiske eller dynamiske udvaskningstest

Test af udvaskning

Polymermaterialer og -komponenter, der anvendes i UPW-distributionssystemer, er potentielle forureningskilder, der kan påvirke vandkvaliteten negativt. Til det formål skal polymermaterialer med ultrahøj renhed (UHP), der anvendes i produktionsprocessen, opfylde præcise SEMI-standardspecifikationer. Derfor er prækvalificering af disse materialer uundværlig, før de anvendes i UPW-systemer.

Vi tilbyder følgende testprocedurer for materialer:

• Statisk udvaskningstest af slanger, rør, membraner, ventiler, O-ringe i henhold til SEMI F40 i renrum klasse 5
• Testbetingelser 85 ± 5 °C, 7 dage (andre testbetingelser kan anvendes)
• Analyse af ionisk, metallisk og organisk forurening
• Bestemmelse af partikelforurening i en skylletest i henhold til SEMI F104
• Evaluering af overholdelse af SEMI F57-kontamineringsspecifikationer
• Dynamiske udvaskningstests, dvs. kontinuerligt flow til klassificering af UPW gennem en del eller samling, i henhold til SEMI-standarder og kundespecifikationer
• Test af vandkvaliteten i det samlede system fra Point Of Entry (POE) til Point Of Use (POU)