Overvågning af luftkvalitet

Komplekse fremstillingsprocesser i elektronik- og halvlederindustrien kræver høj renhed af den omgivende luft. Kemiske gasfaseforureninger, såkaldte Airborne Molecular Contaminants (AMC), kan danne tynde kemiske film på kritiske overflader. Streng overvågning af indendørs luftkvalitet gør det muligt at overholde kravene til højteknologiske produktionsmiljøer.

Exentec har ekspertise i at måle, identificere og kontrollere luftforurening. Det gør det muligt for vores kunder at forbedre deres produktionsprocesser og deres produktudbytte.

Kontrol af luften i nye renrum og rutinemæssig overvågning under produktionsprocessen er vigtige opgaver inden for alle områder, hvor der kræves rene produktionsmiljøer: halvlederindustrien, optisk teknologi og laserteknologi samt andre renrumsområder.

Vores portefølje omfatter:

• Luftprøvetagning indendørs, i makeup-luftenheder, recirkulationssystemer, i minimiljøer og værktøjer
• Omhyggelig udvælgelse af prøvetagningspunkter til årsagsanalyse, hvis der opdages et højere forureningsniveau
• Valg af passende prøvetagningsmetode
• Evaluering i henhold til gældende international teknologi og kundespecifikationer
  

Derfor tilbyder vi:

• Analyse af omgivelsesluft, renrumsluft og ren, tør luft
• Prøveindsamling af syrer og baser ved hjælp af impinger-metoden til analyse med ionkromatografi (IC) og massespektrometri (ICP-MS)
• Prøveindsamling af organiske forbindelser og ildfaste stoffer ved prøvetagning med adsorptionsmaterialer (f.eks. Tenax, CarboTrap) til TD-GC/MS-analyse