At reducere alle former for luftforurening er et hovedmål i fremstillingen af forureningsfølsomme produkter som wafere, optik, lasere og processer som ekstrem ultraviolet (EUV) litografi.

Afgasning fra materialer og udstyr til renrumsudstyr (f.eks. byggematerialer, gulvbelægninger, forseglingsmidler, installationer, forbrugsvarer) er den mest betydningsfulde forureningskilde for flygtige organiske forbindelser (VOC). Analyse af afgasningsadfærd for materialer, der bruges i rene miljøer, er et første vigtigt skridt til at minimere emissionspotentialet for AMC og forbedre den indendørs luftkvalitet.

Test af materialers afgasning

Koncentrationen af luftbårne molekylære forureninger er en relevant renhedsfaktor og har en betydelig indvirkning på produktionsprocesser og produktkvalitet. Især de store udledere VOC og ammoniak er af stor interesse.

Vores AMC-måle- og evalueringsprocedure omfatter:

• Afgasningstest for organiske forbindelser (VOC + SVOC) i henhold til Exentec-retningslinjer og VDI 2083-17-standarden
• Evaluering svarende til Exentecs acceptkriterier for renrum og minimiljøer
• Bestemmelse af materialespecifik standardiseret ISO-AMCm-klasse og mulighed for at beregne ISO-AMC-CR-klasse for faktiske renrum
• Analyse ved termisk desorption (TD) - GC / MS
• Exentec-certifikat for testet materiale
  

Produkt- og proceskontrol for optiske enheder og laserenheder

Ud over vigtigheden inden for halvlederindustrien er rene miljøer også vigtige i fremstillingen af optoelektroniske produkter (LED'er) og lasersystemer samt i applikationer som lasermåling. Afgasning af organiske forbindelser, især kondenserbare forbindelser, blev identificeret som den vigtigste kilde til forringelse af optik. Organisk forurening kan føre til sløring af optikkens overflade, nedbrydning af belægningen, reduktion af signaltransmissionen eller selve lasersignalet og kan øge sandsynligheden for laserskader.

Kilder til organisk afgasning kan være tætninger, printkort, kabelisolering, rengøringsmidler, belægninger, harpiks og andet. Kritiske forbindelser er siloxaner, aromatiske aminer og højtkogende aromatiske kulbrinter som ftalater.

Produkt- og proceskontrollen omfatter:

• Test af komponenter og materialer til produktionskontrol
• Screeningsanalyse af organiske forbindelser ved termisk desorption
• Evaluering af lav-, mellem- og højkogende organiske forbindelser
• Udstedelse af Exentec-certifikater