Mange industrielle processer kræver vand af en klart defineret kvalitet og renhed. Det gælder især for farmaceutiske produktionsprocesser, men også for mange andre industrier. Med højrensevandssystemer fra Exentec kan man opnå forskellige renhedsniveauer - selv "vand til indsprøjtning" af højeste kvalitet.

Systemerne kan efter ønske integreres i den eksisterende infrastruktur eller drives som en stand-alone-løsning. Under alle omstændigheder er de designet af erfarne Exentec-specialister i overensstemmelse med de gældende industristandarder, specifikationer og regler. Ud over integration af generatorsystemer fremstiller Exentec også komplette rør- og distributionssystemer inklusive alle komponenter og sensorteknologi, valgfrit i rustfrit stål eller plast.

Sammen med kunden udvikler Exentec systemer og løsninger til at generere UPW og konditionere den med en præcision på ± 0,25 mK. Disse produkter er forudsætningen for en vellykket anvendelse af nedsænkningsteknologi i litografiske processer.

For at generere mindre strukturer med samme bølgelængde kan den optiske tæthed i mediet mellem objektiv og wafer ændres ved hjælp af vand. Da den optiske tæthed er ekstremt følsom over for kemiske urenheder samt temperaturændringer, kræver det anvendte ultrarene vand (UPW) en ekstremt høj temperaturstabilitet for at opnå stabile billeddannelseskvaliteter.

Egenskaber

• Generering af ultrarent vand
• Kontrol af partikelforureninger
• Ekstremt præcis temperaturkontrol