Præcist miljøkontrolkammer

Exentec Precise Environmental Chambers giver meget lave temperatur- og fugtighedstolerancer, absolut renhed med hensyn til gas- og partikelforurening og afskærmning af akustiske, vibrationsmæssige og elektromagnetiske påvirkninger.

Faciliteter til avanceret teknologi

Innovation, følsomme produktionsprocesser, stigende kvalitetsstandarder og hurtige fremskridt inden for forskning og udvikling udgør konstante og voksende udfordringer for produktions- og udviklingsmiljøer i halvleder- og optikindustrien samt inden for nanoteknologi og mikromekanik.

Meget lave temperatur- og fugtighedstolerancer, absolut renhed med hensyn til gas- og partikelforurening samt afskærmning af akustiske, vibrationsmæssige og elektromagnetiske påvirkninger af kundens processer er nøglefaktorer for optimale produktionsprocesser. Vores løsning: MEC-systemet (modulært miljøkammer).

Stabile og reproducerbare procesmiljøer
Aflejring af partikler og kemiske forureninger
Præcis temperaturkontrol
Akustisk afskærmning

Tekniske data

Parametre for ydeevne

Luftvolumenstrøm: 2,95 m³/t
Lufttemperatur: 22 °C
Temperaturstabilitet: ± 5 mK ned til ± 1 mK
Luftfugtighed: 33 % r.H.
Fugtighedsstabilitet: ± 0,3 % r.H.
Akustisk afskærmning: for 100 < f < 5000 Hz: -15 dB
Magnetisk afskærmning for 10 < f < 200 Hz: -30 dB

Kølevandsskabe

Exentecs løsning er at adskille fabrikkens og værktøjets kølekredsløb og bruge ultrarent vand (UPW) i værktøjskredsløbet.

Præcisionssystemer til klimakontrol

Exentec leverer Precision Climate Control System til halvlederindustrien, nanoteknologi og produktion af optiske lagringsmedier, der kræver et stabilt proces- og målemiljø.

Løsning til kontrol af dugpunkt

Exentec tilbyder systemer og løsninger med fortrængningsgasser til de højeste krav med hensyn til renhed, temperaturstabilitet og tørhed.

Konditionering af ultrarent vand

Præcis konditionering af flydende medier i innovative produktionsmiljøer.