Kølevandsskabe
Kølevandsskabe
Kvaliteten af det tilgængelige proceskølevand i halvlederfabrikker er et væsentligt problem
Fabriks- og værktøjsinstallationer kræver præcis styring af kølevandet
Exyte Technologys løsning er at adskille fabrikkens og værktøjets kølekredsløb og bruge ultrarent vand (UPW) i værktøjskredsløbet. Denne adskillelse muliggør også en bedre kontrol af kølevandsforsyningen med hensyn til temperaturstabilitet, partikelforurening og flowhastighed, hvilket øger værktøjets ydeevne og tilgængelighed.
Kølevandsskabe
Exentecs løsning er at adskille fabrikkens og værktøjets kølekredsløb og bruge ultrarent vand (UPW) i værktøjskredsløbet.
Præcist miljøkontrolkammer
Exentec Precise Environmental Chambers giver meget lave temperatur- og fugtighedstolerancer, absolut renhed med hensyn til gas- og partikelforurening og afskærmning af akustiske, vibrationsmæssige og elektromagnetiske påvirkninger.
Præcisionssystemer til klimakontrol
Exentec leverer Precision Climate Control System til halvlederindustrien, nanoteknologi og produktion af optiske lagringsmedier, der kræver et stabilt proces- og målemiljø.
Løsning til kontrol af dugpunkt
Exentec tilbyder systemer og løsninger med fortrængningsgasser til de højeste krav med hensyn til renhed, temperaturstabilitet og tørhed.
Konditionering af ultrarent vand
Præcis konditionering af flydende medier i innovative produktionsmiljøer.