Měření ultračisté vody

Měření ultračisté vody
Měření ultračisté vody (UPW)
Nabízíme několik služeb v oblasti analýzy kritických parametrů a monitorování systémů ultračisté vody. Pro zajištění vysoké kvality analýz je analytická oblast společnosti Exentec propojena s vlastním zařízením na výrobu ultračisté vody.
Naše služby v oblasti analýzy ultračisté vody zahrnují:
- Anionty a kationty s mezemi detekce v rozsahu ppt
- stopové kovy v rozsahu pod ppt
- stanovení TOC v rozsahu až 0,1 ppb
- měření částic až do velikosti 0,05 μm
- Stanovení odporu vody, bakterií a zatížení křemíkem
- Vyhodnocení shody podle specifikací zákazníka
Analýza stopových prvků
Proces a kvalitu výrobku může ovlivnit kontaminovaná oplachová voda, která obsahuje různé organické a anorganické kontaminanty. Integrací všech technologií pro čištění vody se čistota vody zvýší na mimořádně vysokou úroveň odstraněním částic, organických a anorganických složek i rozpuštěných plynů. Polovodičový průmysl vyžaduje stále přísnější toleranční limity pro kontaminanty v ultračisté vodě, zejména pro kritické kovy a TOC. To vyžaduje pečlivě strukturovaný analytický testovací program pro kritické parametry, jako jsou ionty, kovy, částice, organické sloučeniny a bakterie, aby byla zajištěna vysoká kvalita UPW.
Naše služby stopové analýzy zahrnují:
- Testování kvality vody v procesním nástroji nebo miniprostředí pro úpravu UPW.
- Testování kvality vody v celém systému od místa vstupu (POE) po místo použití (POU).
- Kontrola kvality vody v několika bodech přenosu
- předběžná kvalifikace polymerních materiálů ultravysoké čistoty (UHP) (trubky, hadice, membrány atd.) pro distribuční systémy UPW pomocí statických nebo dynamických vyluhovacích testů
Vyluhovací zkouška
Polymerní materiály a komponenty používané v distribučních systémech UPW jsou potenciálními zdroji kontaminace, které mohou negativně ovlivnit kvalitu vody. Z tohoto důvodu musí polymerní materiály ultravysoké čistoty (UHP), které se používají v rámci výrobního procesu, splňovat přesné specifikace normy SEMI. Proto je před jejich použitím v systémech UPW nezbytná předběžná kvalifikace těchto materiálů.
Poskytujeme následující postupy testování materiálů:
- Statický test vyluhování trubek, potrubí, membrán, ventilů, O-kroužků podle SEMI F40 v čistých prostorách třídy 5.
- Zkušební podmínky: 85 ± 5 °C, 7 dní (lze použít i jiné zkušební podmínky).
- Analýza iontového, kovového a organického znečištění
- Stanovení kontaminace částicemi při zkoušce oplachem podle SEMI F104.
- Vyhodnocení shody se specifikacemi kontaminace podle SEMI F57
- Zkoušky dynamického vyluhování, tj. kontinuální průtok pro klasifikaci UPW přes součást nebo sestavu, podle norem SEMI a specifikace zákazníka.
- Testování kvality vody v celém systému od místa vstupu (POE) po místo použití (POU).
Přehled analytických služeb
Měření ultračisté vody
Nabízíme několik služeb v oblasti analýzy kritických parametrů a monitorování systémů ultračisté vody.