Snížení všech druhů znečištění vzduchu je hlavním cílem při výrobě výrobků citlivých na znečištění, jako jsou destičky, optika, lasery a procesy, jako je extrémní ultrafialová (EUV) litografie.

Nejvýznamnějším zdrojem kontaminace těkavými organickými sloučeninami (VOC) jsou exhalace z materiálů a zařízení pro vybavení čistých prostor (např. konstrukční materiály, podlahové nátěry, těsnicí hmoty, instalace, spotřební materiál). Analýza chování materiálů používaných v čistých prostředích při odplyňování je prvním důležitým krokem k minimalizaci emisního potenciálu AMC a ke zlepšení kvality vnitřního ovzduší.

Testy zplodin z materiálů

Koncentrace molekulárních znečišťujících látek v ovzduší je relevantním faktorem čistoty a má významný dopad na výrobní procesy a kvalitu výrobků. Značný zájem je zejména o hlavní emitenty VOC a amoniak.

Náš postup měření a hodnocení AMC zahrnuje:

• Test na výpary organických sloučenin (VOC + SVOC) podle směrnic Exentec a normy VDI 2083-17.
• vyhodnocení odpovídající kritériím přijatelnosti Exentec pro čisté prostory a miniprostředí.
• Stanovení standardizované třídy ISO - AMCm specifické pro daný materiál a možnost výpočtu třídy ISO-AMC-CR pro skutečné čisté prostory.
• Analýza pomocí termické desorpce (TD) - GC / MS
• Certifikát Exentec pro testovaný materiál
  

Kontrola výrobků a procesů pro optická a laserová zařízení

Kromě významu v polovodičovém průmyslu je čisté prostředí nezbytné také při výrobě optoelektronických výrobků (LED) a laserových systémů a v aplikacích, jako je laserová metrologie. Jako hlavní zdroj zhoršování kvality optiky bylo identifikováno vypouštění organických sloučenin, zejména kondenzovatelných sloučenin. Organické znečištění může vést k zamlžení povrchu optiky, degradaci povlaku, snížení přenosu signálu nebo samotného laserového signálu a může zvýšit pravděpodobnost poškození laseru.

Zdrojem organických zplodin mohou být těsnění, desky plošných spojů, izolace kabelů, čisticí prostředky, nátěry, pryskyřice a další. Kritickými sloučeninami jsou siloxany, aromatické aminy a vysokovroucí aromatické uhlovodíky, jako jsou ftaláty.

Kontrola výrobků a procesů zahrnuje:

• testování součástí a materiálů pro kontrolu výroby
• Screeningovou analýzu organických sloučenin pomocí termické desorpce.
• hodnocení nízko, středně a vysokovroucích organických sloučenin
• vydávání certifikátů Exentec