系統翻新
系統翻新
Exentec 在翻新關鍵製程設備方面擁有無與倫比的專業技術
Exentec 設計和製造廣泛的特殊產品和設施支援設備，以滿足半導體產業的需求。我們不僅替換已無法正常運作的 OEM 設備，還經常以創新的內部開發來優化這些設備。
得益於我們多年的經驗，Exentec 擁有幾乎所有用於我們目標產業的工具和元件的知識。這也反映在我們的維護服務品質上。我們進行系統升級、供應和安裝備件，並幫助客戶保持所有化學和氣體系統、CDA 壓縮機和乾燥機以最佳效率運行。
得益於我們多年的經驗，Exentec 擁有幾乎所有用於我們目標產業的工具和元件的知識。這也反映在我們的維護服務品質上。我們進行系統升級、供應和安裝備件，並幫助客戶保持所有化學和氣體系統、CDA 壓縮機和乾燥機以最佳效率運行。
石英容器
MEGATHERM™ 系統的特色在於無縫成型的石英內槽，可提供低污染、無微粒的環境，其設計可抵抗剝離和氮化矽蝕刻。
循環水浴
Center Feed™ 是半導體工業的第一種循環和過濾槽，主要用於 HF、BOE 和 KOH 應用，但也可用於大多數的酸。
潛水泵
Exentec 沉水式幫浦是專為符合半導體產業對循環、過濾蝕刻模組的嚴格要求而設計。我們的製造泵浦不會受到污染，可確保無故障且有效率的運作。
溫度調節器
WHRV™ 和 WHO™ 溫控循環器專為半導體產業設計，用於控制過濾式蝕刻模組和其他對溫度穩定性和均勻性要求極高的化學品槽的溫度。
快速傾斜洗碗機
MICROCLEEN™ Quick Tilt Rinses 具有可調整的頂部噴淋軌道，外部底部填充軌道和更大的傾倒門，可在幾秒鐘內傾倒。它們能夠現場加裝，無需對現有的管道系統進行任何修改。
泵站
我們的 Chemblast™ 系列泵站專為沒有 AWN 或製程工具不靠近 AWN 的情況所設計。這些泵站可從特殊工具中收集使用過的化學品，然後將其泵送到 AWN 或收集點。
洗瓶站
Exentec 標準洗瓶站的設計可清洗和容納最多 8 個一加侖的瓶子。清洗站由兩個獨立的水平地面噴淋軌道與 4 個垂直噴淋塔組成，以協助移動瓶子。
水瓶推車
在需要方便安全地運送瓶裝化學品的活躍工作區域，瓶車是不可或缺的。除了廣受歡迎的 12 或 16 瓶 1 加侖瓶裝推車外，還有多種配置可供選擇。
櫥櫃
當對濕氣敏感的設備需要一個受保護的環境時，Exentec的乾燥機架和儲存櫃是不可或缺的。乾燥箱櫃的內部環境可透過各類空氣或氣體注入系統及控制儀器進行監測及/或控制。
實驗室手套箱
手套箱和其他密閉室有客製化設計，以符合任何應用和預算。實驗室手套箱的目的是在手套箱的受控環境中，將操作人員與設備隔離和分隔開來。
石英清潔系統
KINETICS 提供特殊的石英管清洗系統，用於徹底清洗擴散管和類似石英產品的管內外表面。不同長度和直徑的石英管被放置在清洗室中，清洗室在注入酸液或其他清洗液的同時會轉動石英管。
鋼製工作台
Exentec 以具競爭力的價格提供客製化配置的鋼制工作台。除了廣受歡迎的不銹鋼工作台之外，櫥櫃也可以選擇任何所需的尺寸和不同類型的表面材質。