系統功能
系統功能

我們結合了強大、高產能的配料技術與符合人體工學的服務功能,以及廣泛的流量與壓力選項。
混合容量:2,000-15,000 公升
最多 3 種化學成分 + DI 水
雙電池電導率監視器
使用者可選擇混合配方
絕對混合精度:0.1%、0.01% 或 0.003% (重量百分比)

系統功能
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Mega® Blend 化學品供應系統的設計是為了確保高科技生產設備的全天候不間斷供應。選用高品質的材料和元件可確保高正常運轉時間。此外,Exentec 可透過我們訓練有素的服務工程師或現場技術設備管理提供全面的作業支援。

選項
選項
  • 客製化 HMI 觸控螢幕介面供操作人員控制
  • 每個化學引擎有 2 到 6 個過濾器選項,可提高純度
  • 支援 1 到 4 個化學品供應源 (桶、滾桶或散裝罐)
  • 可選擇 Trebor 120 或 Trebor 255 高純度化學幫浦
  • 通過 FM 4910 認證的材料,與無塵室相容
  • 提供 SEMI S2/S8、UL 和 CE 認證

系統功能
系統功能

我們結合了強大、高產能的配料技術與符合人體工學的服務功能,以及廣泛的流量與壓力選項。
混合容量:2,000-15,000 公升
最多 3 種化學成分 + DI 水
雙電池電導率監視器
使用者可選擇混合配方
絕對混合精度:0.1%、0.01% 或 0.003% (重量百分比)