CELERA 系統擁有開放式製程區域，可反映大型濕式工作台的甲板配置和整合式層流氣流，可將微粒和煙塵污染降至最低，是研究、開發和試產線環境的理想選擇。
主要優點
- 模組化設計 - 完全客製化的槽體佈局與材料配置
- 污染控制 - 甲板上方的層流氣流可提供潔淨的製程環境
- 實驗室規模的效率 - 手動和半自動選項可減少停機時間並提昇產量
- 靈活的基板支援 - 從 100mm 到 300mm 的晶圓和客製化基板
CELERA® 工作台是半導體研發、材料科學和其他潔淨關鍵應用的理想手動或半自動濕式處理解決方案 - 在一個緊湊的系統中兼顧性能、靈活性和安全性。
系統一覽 - 重點功能
- 100 公釐至 300 公釐晶圓及客製化基板
- 表面處理和電鍍應用
- 前置與後置存取配置選項
- 支援任何化學品或基板尺寸
- 聚丙烯、PVC - FM4910 或不銹鋼
- 半自動化 - 前後機械人或機械攪拌
- 浴槽再循環/過濾 - 高溫與常溫製程
- 巨聲波/超聲波槽 - 去除微粒和厚殘留物
- 浴槽添加 - 過氧化氫、D.I. 水和其他添加劑
- 微處理器控制或 PLC 控制，搭配 HMI 觸控螢幕
- 附腳座調整裝置的腳輪
選項
- FM 4910 認證建築材料
- 客製化排水管和化學品處理配件（汽水瓶、瓶子等）
- 通過 FM 測試的 C2 火災偵測和滅火系統
- SEMI 和 CE 標誌或其他第三方 NRTL 測試和認證
- HEPA/ULPA 空氣過濾
CELERA 選項
CELERA 選項
- FM 4910 認可建材
- 客製化排水管和化學品處理配件（汽水瓶、瓶子等）
- 通過 FM 測試的 C2 火災偵測和滅火系統
- SEMI 和 CE 標誌或其他第三方 NRTL 測試和認證
- HEPA/ULPA 空氣過濾
CELERA 功能
CELERA 功能
100-300 公釐晶圓、基板
表面處理與電鍍
前置與後置存取選項
支援任何化學品或基板尺寸
聚丙烯、PVC-FM4910、不銹鋼
前後機械人或機械攪拌
槽液再循環/過濾
高溫+ 環境製程
巨聲波/超聲波微粒去除
浴槽添加： 過氧化氫、H2O
CELERA 優勢
CELERA 優勢
模組化設計 完全客製化的槽體佈局和材料配置
污染控制 甲板上方的層流氣流可提供潔淨的製程環境
實驗室規模的效率 手動和半自動選項可減少停機時間並提昇產量
彈性支援 100mm-300mm 晶圓和客製化基板
CELERA 附加功能
CELERA 附加功能
- 浴槽再循環/過濾 - 高溫和常溫製程
- 巨聲波/超聲波槽 - 去除微粒和厚殘留物
- 浴槽添加 - 過氧化氫、D.I. 水與其他添加劑
- 微處理器控制或 PLC 控制，搭配 HMI 觸控螢幕
- 附腳座調整裝置的腳輪