專為連續輸送泥漿而設計
此先進系統支援自動 N₂ 沖洗與加濕，可根據應用需求直接連接原料供應容器。
MEGA® 傳輸系統具備自動切換功能，可確保不間斷的運作，將設備的正常運作時間延長至最長，並將操作人員的手動介入減至最低，非常適合高產量的製造環境。
巨型傳輸系統的主要優點
巨型傳輸系統的主要優點
- 靈活安裝
- 可從遠端位置傳輸泥漿，並與泥漿混合/分配裝置 (SBDU) 隔離
- 可配置的設計
- 提供半高和全高機型
- 可選擇日池配置，以符合產量和製程需求
- 經過驗證的可靠性
- 經過全球半導體與 CMP 製造環境的實地測試
服務的行業
服務的行業
- 半導體製造
- CMP 後製程
- 太陽能/光伏 (PV)
- 低固體 CMP 應用
- LED 製造
- 碳化矽 (SiC) / 物聯網應用
MEGA 傳輸系統的主要優點
MEGA 傳輸系統的主要優點
我們的傳輸系統支援自動 N₂ 充氮和加濕，可根據應用需求直接連接至原料供應容器。MEGA® 傳輸系統具備自動切換功能，可確保運作不中斷，將設備的正常運作時間延長至最長，並將操作人員的手動介入減至最低，非常適合大批量製造。
巨型傳輸系統的主要優點
巨型傳輸系統的主要優點
- 靈活安裝
- 可從遠端位置傳輸泥漿，並與泥漿混合/分配裝置 (SBDU) 隔離
- 可配置的設計
- 提供半高和全高機型
- 可選擇日池配置，以符合產量和製程需求
- 經過驗證的可靠性
- 經過全球半導體與 CMP 製造環境的實地測試