MEGA SA100 功能
MEGA SA100 功能

  • 線上、定量濃度監控
  • 多達 6 種滑流 (相同化學成分)，可對多個系統進行多點分析
  • 針對取樣、吹掃和成份補充的可程式配方 特定的檢測和電化學感應器，可進行精確、具針對性的測量
  • 內建 Di 或 Peroxide 自動沖洗/淨化功能，可手動控制
  • 從工具來源加壓取樣
  • 獨立的化學和電氣隔間
  • 緊急關機 (E.M.O.)、聲音/視覺警報和洩漏偵測
  • 符合 SEMI S2 和系統排氣驗證

MEGA SA100 優點
MEGA SA100 優點

  • 精確維持製程化學成分，提高產品良率
  • 監控整個產品生命週期中的化學降解情況
  • 快速偵測並修正製程變異
  • 透過即時化學洞察力，將批次損失風險降至最低
  • 99.9% 的系統可用性可確保可靠的正常運行時間
  • 直接由混合系統控制（無需外部 PLC）

MEGA SA100 應用程式
MEGA SA100 應用程式

  • 半導體製造
  • 後 CMP 泥漿監控
  • 太陽能/太陽能電池製造
  • 低固體 CMP 製程
  • LED 與碳化矽 (SiC) 生產
  • 航太與 ECD (電化學沉積)
  • 物聯網裝置製造 SA100 系列 - 高準確度漿料滴定與化學分析

MEGA® SA200 系列特色
MEGA® SA200 系列特色

  • 顆粒尺寸偵測範圍從 0.2μm 到 20μm（依配置而定）
  • 可調整顆粒尺寸分選，以獲得顆粒資料
  • 支援高達 1,000,000:1 稀釋 (雙階段)
  • 多種感測器選項與系列內配置，可進行驗證
  • 長期批次與過濾器性能監控
  • 接受抓取樣品或連續取樣
  • 手動稀釋與沖洗控制，提供 DI 或化學選項
  • 由抗化性 PFA 塑膠和 316 SS 流量計構成
  • 可選 FM 4910 或符合 WPP 標準的機箱