專為獨立與 SCADA 整合環境設計
MegaLink 2可以精確監控工廠級的配送流程。MegaLink 2具有可擴展的架構、冗餘通訊路徑和強大的協定支援，可確保在您的設施中持續運行和無縫整合。
MegaLink 2具備靈活性，單一主機介面最多可支援8個遠端控制單元。它的觸摸屏HMI簡化了操作和配置，而它的模組化設計支援每個關鍵點的備援，使它成為小型研發設施和大型CMP生產廠的理想選擇。
MEGA® MegaLink 2 有助於監控關鍵的漿料、化學品和氣體分配過程。MegaLink 2具有內建備援功能、無縫SCADA整合，並支援廣泛的工業通訊協定，可確保運作不中斷、提高製程的可視性，並使晶圓廠的基礎設施面向未來。
系統一覽：重點功能
系統一覽：重點功能
- 觸控式螢幕人機介面 (HMI)，用於本機控制與監控
- 每個主機系統最多可控制 8 台遠端裝置
- 基於乙太網路的通訊協定
- 所有系統的備援直流電源標準
- 支援 CDU 與 POU 工具之間的握手訊號
- 高度可配置的軟體架構
- 與不同的 OEM 工具集和自動化系統相容
適用的應用
適用的應用
- CMP 漿料配送系統（小型和大型晶圓廠）
- 全球迴路化學品供應系統
- 多點工具通訊網路
- 化學品或氣體櫃監控
- 傳統與現代工具整合的製程控制介面
主要效益
主要效益
- 可擴充的架構支援隨生產需求成長而擴充的功能
- 相容於多種乙太網路通訊協定及傳統介面
- 可作為獨立的 PLC 系統運作，或輕鬆整合至現有的 SCADA 基礎架構中
- 備援電源、通訊和控制邏輯可改善正常運作時間和操作安全性
- 專為 CMP 晶圓廠、漿料系統及全球迴路網路的化學品輸送所設計
選項
選項
- 備援 AC 電源供應器
- 備援通訊鏈路
- 備援可程式邏輯控制器 (PLC)，以提供故障移轉保護