MEGA 攪拌系統

專為傳統和新一代應用而設計

這些系統專為滿足半導體製造 CMP 應用及其他高純度化學製程的嚴格要求而設計，可支援多種混合比率與補充率，是傳統與新一代應用的理想選擇。

MEGA® 攪拌系統的設計具有完全的可靠性和可重複性，可提供自動控制、智慧型監控以及可客製化的儲槽容量，以滿足各種製程環境的特定需求。